CM505無(wú)塵室氣體監(jiān)視器
用于半導(dǎo)體工廠的CM505無(wú)塵室氣體監(jiān)視器
隨著LSI集成度的提高,以及大型FPD生產(chǎn)的推動(dòng),清除無(wú)塵室中氨氣和酸性氣體等氣體污染物,顯得日益重要。為滿足此要求,監(jiān)視氣態(tài)污染物,并定期檢查化學(xué)過(guò)濾器的化學(xué)性能十分重要。為達(dá)到此目的,通常采用的測(cè)試方法是塵埃器測(cè)定法。然而,傳統(tǒng)的塵埃器測(cè)定法不適合*測(cè)量,且會(huì)由于操作員引起交叉污染。
CM505無(wú)塵室氣體監(jiān)視器通過(guò)塵埃器測(cè)定法實(shí)現(xiàn)無(wú)污染在線氣體監(jiān)視,測(cè)量時(shí)間為1個(gè)小時(shí)。還可選用多光束型(16點(diǎn))。該系統(tǒng)可根據(jù)要求監(jiān)視氨氣(或陽(yáng)離子)和酸性氣體(陰離子)。
特性
通過(guò)塵埃器進(jìn)行氣體采樣,同時(shí)采集氣體和顆粒/霧狀污染物。
氨氣測(cè)量靈敏度達(dá)到0.01μg/m3。
酸性氣體(HCl,SO2,NO2)測(cè)量靈敏度同樣可達(dá)到0.02μg/m3。
系統(tǒng)可根據(jù)要求監(jiān)視硼酸,F-和有機(jī)酸(CH3COO-,HCOO-)。
全自動(dòng)系統(tǒng)及無(wú)人測(cè)量。
采用高可靠的分析方法,即離子色譜法。
可選化學(xué)過(guò)濾器生命周期預(yù)測(cè)軟件和多光束切換型(zui多16點(diǎn))。
規(guī)格
測(cè)量 |
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氣體采樣方法 | 塵埃器測(cè)定法 | |||||
分析方法 | 離子色譜法 | |||||
測(cè)量量程 |
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zui小檢測(cè)限制 |
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測(cè)量周期 | zui短60分鐘或90分鐘 | |||||
測(cè)量點(diǎn) | 一點(diǎn)或zui多16點(diǎn)(選配件) | |||||
標(biāo)定 | 使用標(biāo)準(zhǔn)溶液標(biāo)定,自動(dòng)標(biāo)定 | |||||
外部接點(diǎn)輸入 | 測(cè)量流路切換信號(hào),外部報(bào)警信號(hào),外部報(bào)警復(fù)位信號(hào) | |||||
外部接點(diǎn)輸出 | 異常濃度信號(hào)(用于每種流體,繼電器接點(diǎn)), | |||||
電源 | 100~120V AC,50/60Hz | |||||
重量 | 根據(jù)規(guī)格不同,約為150~180kg |