*真空清掃系統(tǒng)電子半導(dǎo)體車間
*真空清掃系統(tǒng)的工作原理
集塵系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)，粉塵有效地被控制進(jìn)入到真空管網(wǎng)內(nèi)部，在真空負(fù)壓的作用下，被吸進(jìn)的粉塵隨氣流沿著負(fù)壓管路被抽入吸塵主機(jī)內(nèi)部，首先被離心分離裝置分離落入機(jī)器下方的垃圾桶內(nèi)，只有少量密度極*塵隨氣流繼續(xù)向上運(yùn)動(dòng)，在過濾室被過濾器分離，清潔的空氣由真空吸塵機(jī)排風(fēng)出口經(jīng)消音裝置排入空氣中。過濾器上的粉塵是通過機(jī)器上的自動(dòng)脈沖反吹裝置定時(shí)反吹交替工作來完成的。
*真空清掃系統(tǒng)電子半導(dǎo)體車間
*真空清掃系統(tǒng)理論計(jì)算
管網(wǎng)末端真空軟管內(nèi)徑取Φ50mm,按系統(tǒng)同時(shí)打開2個(gè)吸口進(jìn)行計(jì)算。根據(jù)粉塵材料的比重及灰塵的尺寸，經(jīng)計(jì)算得知， 粉塵材料在管路內(nèi)部的zui低流速不小于v=20m/s。經(jīng)設(shè)計(jì)計(jì)算得知，系統(tǒng)2個(gè)吸口同時(shí)工作時(shí)所需要的zui小設(shè)備風(fēng)量應(yīng)為Q≥272m3/h，考慮偏離量總風(fēng)量不少于300m3/h.
根據(jù)*集塵管網(wǎng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)原則和計(jì)算方法，集塵系統(tǒng)的zui大阻力為Pmax=2200mmH2O,
風(fēng)機(jī)入口負(fù)壓-22KPa時(shí)，風(fēng)機(jī)入口流量為380m3/h.
經(jīng)查設(shè)備性能曲線知，選擇我廠生產(chǎn)的SINOVAC CVP系列型號(hào)CVP280的真空工業(yè)吸塵主機(jī)是比較經(jīng)濟(jì)合理的，其性能曲線符合系統(tǒng)實(shí)際工況的需要。
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