該儀器的應(yīng)用領(lǐng)域覆蓋了薄膜/涂層、光學(xué),工業(yè)軋鋼和鋁、紙、聚合物、生物材料、陶瓷、磁介質(zhì)和半導(dǎo)體等幾乎所有的材料領(lǐng)域。
美國AEP Technology公司主要從事半導(dǎo)體檢測設(shè)備, MEMS檢測設(shè)備, 光學(xué)檢測設(shè)備的生產(chǎn)制造,是表面測量解決方案行業(yè)的供應(yīng)者,專門致力于材料表面形貌測量與檢測。
NANOMAP 500LS輪廓儀/三維形貌儀技術(shù)特點(diǎn)
- 常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)的*結(jié)合。
- 雙模式操作(針尖掃描和樣品臺掃描),即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖。
- 針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式,三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學(xué)參考平臺能使長程掃描范圍到50mm。
- 在掃描過程中使用彩色光學(xué)照相機(jī)可對樣品直接觀察。
- 針尖掃描采用雙光學(xué)傳感器,同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍(zui大至500μm)及亞納米級垂直分辨率 (zui?。?1nm )
- 軟件設(shè)置恒定微力接觸。
- 簡單的2步關(guān)鍵操作,友好的軟件操作界面。
應(yīng)用
- 三維表面輪廓測量和粗糙度測量,即適用于精密拋光的光學(xué)表面也可適用于質(zhì)地粗糙的機(jī)加工零件。
- 薄膜和厚膜的臺階高度測量。
- 劃痕形貌,磨損深度、寬度和體積定量測量。
- 空間分析和表面紋理表征。
- 平面度和曲率測量。
- 二維薄膜應(yīng)力測量。
- 微電子表面分析和MEMS表征。
- 表面質(zhì)量和缺陷檢測。