精度高

可檢漏率低至5x10-7mbarl/s,相當(dāng)于0.1克/年的漏率，與氦檢吸槍法精度相同，高于鹵素檢漏儀，遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于保壓法和水泡法。

安全性好

5%氫氣與95%氮氣的混合氣體是符合標(biāo)準(zhǔn)（ISO10156）的安全不可燃?xì)怏w，無毒性和腐蝕性，綠色環(huán)保，也不會對設(shè)備和環(huán)境產(chǎn)生不利影響。

適用性廣

氫氣檢漏和氦氣檢漏、鹵素檢漏及水泡法或壓降法檢漏的原理類似，均是在被檢工件內(nèi)部充注高壓氣體，只是充注的氣體不同。由這幾種檢漏方法轉(zhuǎn)換為氮氫檢漏非常方便，只要改變氣源，用氫氣檢漏儀進(jìn)行檢漏即可。

氣體成本低廉

與價格日益上漲，且越來越難以保證供應(yīng)的氦氣相比，5%氫氣+95%氮氣非常容易制備，是一種工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)安全氣體，在全國各地都很容易買到。

由于氦氣屬于稀有的*氣體，而中國又屬于貧氦國，因此國內(nèi)的大批量氦氣供應(yīng)基本上都要依靠國外進(jìn)口。隨著氦氣資源的緊缺以及由此帶來的價格的一路高漲，今后氦氣的供應(yīng)可能會更加受到限制。

維護(hù)成本低

氫氣檢漏儀本身內(nèi)部沒有真空泵、閥門等活動部件，因此無須對檢漏模塊進(jìn)行維護(hù)，可以節(jié)省大量的維護(hù)費用。

對檢漏環(huán)境要求不高

與氦氣相比，氫氣的分子量zui小，逃逸性，粘滯性極低，不容易吸附在材料表面對本底環(huán)境造成影響，因此氫氣檢漏技術(shù)對本底環(huán)境要求要遠(yuǎn)低于氦檢漏技術(shù)。另外，空氣中氫氣的含量為0.5ppm，遠(yuǎn)低于氦氣的5ppm，空氣本底對檢漏的影響更小。

響應(yīng)速度快

氫氣檢漏儀的分析元件在探棒部分，不像氦氣檢漏儀那樣需要將氣體通過管道吸入到質(zhì)譜室進(jìn)行分析，所以響應(yīng)時間很短，在0.5s內(nèi)即有響應(yīng)。

小巧便攜，方便移動

體積小、重量輕。