水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)優(yōu)于中國(guó)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室用水（GB6682-92）一級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)；優(yōu)于三次蒸餾水

吸光度（254nm,25px光程）≤0.001     可溶性硅（以計(jì)），mg/L﹤0.01

總有機(jī)碳量：TOC﹤15ppb             微粒子（大于0.22μm）含量： ﹤1/ml

重金屬含量（mg/L.max）：﹤0.01      氧化矽含量（mg/L.max）: ≤0.01

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