工業(yè)純水又名高純水,是指化學(xué)純度*的水從化學(xué)的角度來說,只有H2O,幾乎不含任何其他物質(zhì)。
在高純水的生產(chǎn)過程中,水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術(shù)等去除;水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術(shù)去除;水中的細菌,目前國內(nèi)多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除;水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應(yīng)用的領(lǐng)域中,水的純度直接關(guān)系到器件的性能、可靠性、閾值電壓,導(dǎo)致低擊穿,產(chǎn)生缺陷,還影響材料的少子壽命,因此高純水要求具有相當(dāng)高的純度和精度。 天然水中溶解的氣體主要有O2、、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣等,在高純水的生產(chǎn)過程中,還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質(zhì),在生產(chǎn)高純水的過程中,加入了一些化學(xué)殺菌劑,如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。
純水和超純水廣泛用于電廠、電子、醫(yī)藥、化工行業(yè),通過各種膜的過濾或離子交換作用,將水中的有害離子去除。
電廠多用的脫鹽水,其脫鹽水水質(zhì)的主要指標(biāo)為:硬度約等于零,電導(dǎo)率≤0.2μs.cm,SiO2≤20ppb。
化工用水多種多樣,通常水質(zhì)不會比電廠水質(zhì)要求高,但可能會對某些離子有要求,所以常用一級或二級反滲透工藝。出水水質(zhì)電導(dǎo)為5~10μs.cm以上。如有更高的要求則后面加混床或EDI。
醫(yī)藥用水多對電導(dǎo)和細菌作要求,對系統(tǒng)所用材料材質(zhì)有要求,多選用不銹鋼產(chǎn)品。通常純水后要加殺菌消毒裝置。
電子行業(yè)對水的要求是zui高的,多數(shù)電子用水要求達到18兆。對電阻率的要求只是電子用水的一小部分,它對其中很多離子都有較高要求,所以對安裝材料及管道有特殊要求。選用工藝也是zui復(fù)雜的。通常要在EDI后加拋光混床及超濾、殺菌、氮封水箱等裝置,造價也很高。
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