硅片無(wú)氧烘箱,半導(dǎo)體厭氧烤箱? 概述
硅片無(wú)氧烘箱,半導(dǎo)體厭氧烤箱,在工作時(shí),工作室內(nèi)充滿(mǎn)了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時(shí)被氧化。無(wú)氧化烘箱在工業(yè)中的用途:IC包裝,LCD,晶體管,傳感器,二極管,石英晶體振蕩器,混合集成電路板……
技術(shù)參數(shù)
主要技術(shù)指標(biāo)
Ø 含氧量:< 100ppm;
Ø 溫度范圍: RT(室溫)+10~ +200℃;
Ø 溫度均勻度:±1℃;
Ø 溫度波動(dòng)度:±0.5℃(空載)
Ø 溫控精度:0.1℃
箱體結(jié)構(gòu)
烘箱擱板為活動(dòng)形式。
Ø 溫控裝置:智能LED雙數(shù)顯高精度溫度控制系統(tǒng),控溫精度±1℃,溫度為室溫至300℃任意調(diào)節(jié),并具有PID自整定,自動(dòng)恒溫等功能
Ø 超溫保護(hù):獨(dú)立配置超溫保護(hù)儀,超過(guò)溫度上限,自動(dòng)報(bào)警并主動(dòng)切斷加熱
Ø 固態(tài)輸出:SSR無(wú)觸點(diǎn)繼電器模塊,靈敏度高,壽命長(zhǎng)
Ø 測(cè)溫裝置:不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器,精確測(cè)溫,放心使用
Ø 定時(shí)裝置:高精度數(shù)顯自動(dòng)定時(shí)器,0-99.99小時(shí)恒溫時(shí)間設(shè)定,可預(yù)設(shè)烘烤時(shí)間
Ø 報(bào)警系統(tǒng):APT/AD16型聲光報(bào)警系統(tǒng),時(shí)間到聲光報(bào)警并自動(dòng)切斷加熱
Ø 電器元件:采用電器
Ø 安全裝置:漏電,短路,過(guò)載保護(hù);鼓風(fēng)電機(jī)過(guò)載缺相保護(hù)