一、工業(yè)超純水制取裝置概述:
采用反滲透水處理設(shè)備與混床離子交換設(shè)備進行組合的方式制取工業(yè)用超純水工藝的原理是:以反滲透出水做為二級原水,加壓進入混床離子交換柱,制取滿足工業(yè)生產(chǎn)所需的高純水,終出水水質(zhì)電阻率≥15MΩ.cm。此工藝常用的工藝流程為:原水池→原水增壓泵→砂濾→炭濾→軟水器→精密過濾器→緩沖水箱→反滲透設(shè)備→純水箱→增壓泵→混床(復(fù)床)→超純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。采用此工藝流程超純水系統(tǒng)可適用各種原水水源。
反滲透+混床超純水設(shè)備系統(tǒng)是現(xiàn)代電子工業(yè),如:半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等行業(yè)制備純水、超純水常用、實用的系統(tǒng)工藝。
二、工業(yè)超純水制取裝置特點:
在現(xiàn)代電子工業(yè)高速發(fā)展的今天,工業(yè)生產(chǎn)對用水的要求也非常高。如半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路等行業(yè)就需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
三、單級反滲透設(shè)備+混床超純水處理系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實驗室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品。
而采用單級反滲透+混床離子交換系統(tǒng)工藝是現(xiàn)代電子行業(yè)工業(yè)生產(chǎn)用純水、超純水常用的生產(chǎn)工藝。