Keysight B1500A 半導(dǎo)體器件分析儀是一款具有 10 插槽配置的模塊化儀器，可支持 IV 和 CV 測量及快速高電壓脈沖測量。它采用常見的 Microsoft ® Windows ® 用戶界面，可支持 Agilent EasyEXPERT 軟件。該軟件為器件表征提供更直觀的、面向任務(wù)的新方法。Keysight B1500A 具有極的低電流、低電壓和集成電容測量能力，因此可滿足廣泛的半導(dǎo)體器件表征需求（IC-CAP 支持 B1500A）。它還是一款用于非易失存儲單元表征和高速器件表征（包括* NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量）的出色解決方案。
特性和優(yōu)勢
- 優(yōu)異的 IV 測量性能：0.1 fA / 0.5 ?V 測量分辨率
- 測量特性包括單通道和多通道掃描、時(shí)間采樣、列表掃描、準(zhǔn)靜態(tài) CV（使用 SMU）、直接控制和針對 HV-SPGU 的任意線性波形生成（ALWG）GUI。 - 可選的集成電容模塊支持高達(dá) 5 MHz 的 CV 測量
- 基于定位器的可選 CV-IV 開關(guān)解決方案提供 0.5 ?V 的電壓測量分辨率和 10 fA、1 fA 或 0.1 fA 的電流測量分辨率能力
- 使用內(nèi)置半自動晶圓探頭驅(qū)動程序可輕松自動完成測試；在快速測試模式下，用戶無需編程即可排列測試順序
- 可選的高電壓半導(dǎo)體脈沖發(fā)生器單元（HV-SPGU）具有 10 ns 的可編程脈沖寬度和 +/- 40 V（80 V 峰峰值）輸出
- 可選的波形發(fā)生器/快速測量單元（WGFMU）提供 ALWG 和快速電流或電壓測量能力
- 10 ns 脈沖 IV 解決方案，用于表征高 k 柵極電介質(zhì)和 SOI（絕緣硅）晶體管
- 典型測試模式可提供 4155/4156 界面的外觀、風(fēng)格和術(shù)語，同時(shí)通過充分利用 Microsoft ® Windows ® GUI 特性可加強(qiáng)用戶交互
一般特性
- 基于 PC 的儀器，具有 Windows ® XP Professional 操作系統(tǒng)
- 針對電流－電壓（IV）、電容－電壓（CV）、脈沖生成、快速 IV和時(shí)域測量的綜合解決方案。
- 用于電源監(jiān)測單元（SMU）和其他模塊類型（MFCMU、HV-SPGU 和 WGFMU）的 10 個模塊插槽
- 通過 Desktop EasyEXPERT 軟件進(jìn)行離線數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用測試開發(fā)
測量能力
- 支持 0.1fA 和 0.5?V 電流－電壓（IV）測量
- 支持準(zhǔn)靜態(tài)和中頻電容－電壓（CV）測量
- 支持精確的快速 IV 和時(shí)域測量，適用于各種應(yīng)用，例如脈沖 IV、NBTI 和 RTS 噪聲（RTN）測量。
- 支持用于大功率和存儲器測試的高電壓脈沖生成（高達(dá) ±40 V）功能。
