IBEX-300晶圓級超快三維磁場探針臺是專門用于晶圓片在磁場作用下的表征和測試的儀器，它使用三維磁場發(fā)生器和*的可定制硬件，為磁性器件（傳感器和存儲器）的開發(fā)、工藝和生產(chǎn)帶來了完整的測試解決方案。
IBEX-300晶圓級超快三維磁場探針臺主要特點：
■ 可以用于100~300mm晶圓 | ■ 嵌入式傳感器校準 |
主要應(yīng)用方向：
■ 磁性隧道結(jié)
■ 磁隨機存取存儲器
■ 集成磁傳感器(Hall, GMR, TMR)
■ 智能傳感器
技術(shù)原理：
探針臺采用*的三維磁場發(fā)生器，每個磁場空間軸獨立驅(qū)動。利用這3個自由度，用戶可以在任意空間方向應(yīng)用和控制場，也可以生成旋轉(zhuǎn)場。三維磁場裝置配備了所有相關(guān)配件，測試程序和磁鐵校準工具包。 三維磁發(fā)生器置于探針臺頂部，并在晶圓上產(chǎn)生局部磁場。為了適應(yīng)器件測試設(shè)計，探頭被放置在晶圓片和發(fā)生器之間的間隙中。磁場發(fā)生器和晶圓托之間的Z方向距離一般可在500μm至5mm之間可調(diào)，取決于所使用的探針卡和探針。 |
