產品規(guī)格
•大流量至3 slpm (0.2 NM3/hr)
•材質均為316L不銹鋼與鎳200墊片
•0.003 μm PALL不銹鋼顆粒過濾器
•外徑1.5 英寸(38.1 毫米)。
含墊片總長3.31 英寸(84.07 毫米)
•內表面粗糙度< 10 μin Ra
•大工作壓力1000 psig (7 MPa)
•工作溫度小于70°C
NP-Filter是一款小型的純化/過濾器組合,專
為安裝在制程工具內部設計,實現(xiàn)次微米級制造工藝所需的
高純度氣體要求。
NP-Filter的設計可保證在安裝純化器時媒介部分的
密封性及在拆除時減少內部殘留氣體的泄漏。
NP-Filter防范了所有可能導致污染的來源,包括各種氣
體支路引入的雜質。
NP-Filter可直接替換顆粒過濾器安裝,較典型的安裝位
置在制程室或質量流量計之前。