日本hrd-thermal測(cè)量薄膜和微小區(qū)域熱導(dǎo)率TM3
特性
- 熱物理性質(zhì)顯微鏡是測(cè)量熱滲透率的裝置，熱滲透率是熱物理性質(zhì)值之一。
- 它是一種可以通過(guò)點(diǎn)，線和表面來(lái)測(cè)量樣品的熱性能的設(shè)備。
- 也可以測(cè)量微米級(jí)的熱物理性質(zhì)值的分布，這在常規(guī)熱物理性質(zhì)測(cè)量設(shè)備中被認(rèn)為是困難的。
- 它是*yi款能夠進(jìn)行非接觸式高分辨率熱性能測(cè)量的設(shè)備。
- 檢測(cè)光斑直徑為3μm，可在微小區(qū)域內(nèi)高分辨率測(cè)量熱物理性質(zhì)（點(diǎn)/線/表面測(cè)量）。
- 由于可以通過(guò)改變深度范圍進(jìn)行測(cè)量，因此可以測(cè)量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
- 您也可以測(cè)量基材上的樣品。
- 激光非接觸式測(cè)量。
- 可以檢測(cè)薄膜下的裂縫，空隙和剝離。
熱物理顯微鏡的測(cè)量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
- 由于金屬的反射率具有根據(jù)表面溫度而變化的性質(zhì)（熱解法），因此通過(guò)捕捉與加熱激光器同軸地照射的檢測(cè)激光器的反射強(qiáng)度的變化，來(lái)測(cè)量表面的相對(duì)溫度變化。去做。
- 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導(dǎo)致表面溫度響應(yīng)的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質(zhì)。通過(guò)測(cè)量加熱光和檢測(cè)光之間的相位延遲來(lái)獲得熱滲透率。
主要規(guī)格
名稱/產(chǎn)品名稱 | 熱物理顯微鏡/熱顯微鏡 |
測(cè)量方式 | 熱物理性質(zhì)分布測(cè)量（1維，2維，1點(diǎn)） |
測(cè)量項(xiàng)目 | 熱滲透率，（熱擴(kuò)散率），（熱導(dǎo)率） |
檢測(cè)光斑直徑 | 約3μm |
1點(diǎn)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間 | 10秒 |
待測(cè)薄膜 | 厚度幾百納米到幾十微米 |
重復(fù)精度 | 耐熱玻璃，硅的熱滲透率小于±10％ |
樣品 | 1.樣品架30mm x 30mm厚度5mm
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工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據(jù)設(shè)備中內(nèi)置的溫度傳感器） |
平臺(tái)移動(dòng)距離 | ? X軸方向20mm |
加熱激光 | 半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：808nm |
檢測(cè)激光 | 半導(dǎo)體激光波長(zhǎng)：658nm |
電源 | 交流100V 1.5kVA |
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 樣品架，參考樣品 |
選項(xiàng) | 光學(xué)壓盤，空調(diào)，空調(diào)房，飛濺裝置 |
