日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
產(chǎn)品特點
實現(xiàn)高測量重復(fù)性(± 0.01 μm 或更小,取決于對象和測量條件)
不易受溫度變化的影響
可以生產(chǎn)用于研究和檢查的離線式和在制造過程中使用的在線式。
反射型允許從薄膜的一側(cè)進(jìn)行測量
僅可測量透明涂膜層(取決于測量條件)
模型 飛行時間 測量方法 非接觸式/光譜干涉式 測量對象 電子和光學(xué)用透明平滑膜、多層膜 測量原理 光譜干擾型 日本YAMABUN山文電氣臺式離線分光干涉式測厚儀TOF-S
產(chǎn)品規(guī)格
測量厚度 1~50μm(薄材料)、10~150μm(厚材料) 測量長度 50-5000 毫米 測量間距 1 毫米 ~ 小顯示值 0.001微米 電源電壓 AC100 V 50/60 Hz 工作溫度限制 5~45℃(測量時溫度變化1℃以內(nèi)) 濕度 35-80%(無冷凝) 測量區(qū)域 φ0.6 毫米 測量間隙 約 30 毫米