分析潛力
- GM樣品室配備有5軸馬達驅動樣品臺
- 多于20個接口，優(yōu)化的幾何設計更適合安裝能譜儀（EDS）、波譜儀（WDX）、電子背散射衍射（EBSD）
- YAG閃爍器式探頭
- 可選各種探頭和配件
- 渦輪分子泵和機械泵同時工作，幾分鐘即可達到儀器操作需要的真空狀態(tài)
- 在可變真空模式下可觀測不導電的樣品（XMU型號）
- 可選樣品室減振方式
- 3維Metrology軟件提供了三維重構與3維測量功能
GM型號適合觀測大樣品。
VEGA3 GMH
超大樣品室，高真空模式，適用于觀測大型導電材料。
VEGA3 GMU
可變真空式掃描電鏡，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導電的樣品，不需要噴金。
標配：
圖象處理
3維掃描
硬度測量
多圖像校準
對象區(qū)域
自動關機時間
公差
編程軟件
定位
投影面積
EasySEMTM
根據(jù)實際配置和需求
配件：
二次電子探頭（SE），ET型二次電子探頭（YAG 閃爍體）
可移動式背散射電子探頭（RBSE）*，可移動環(huán)行閃爍體類（YAG）具有高靈敏度和原子序數(shù)分辨率（0.1Z）
低真空二次電子探頭
探針電流測量
壓差式防碰撞報警裝置
可觀察樣品室內部的紅外線攝像頭
冷臺
等，各種配件可供選擇
