安捷倫VacIon Plus 200大型離子泵具有從 150 到 1000 L/s 的氮?dú)獬樗俜秶?,并具?Diode、Noble Diode 和 StarCell 型號(hào)。Diode Vaclon Plus 泵通常用于抽空電子器件的通用超高真空 (UHV) 系統(tǒng)中及高分辨電子顯微鏡中。Noble Diode Vaclon Plus 離子泵用于以恒定的壓力抽除混合氣體的超高真空應(yīng)用中,因此非常適用于粒子加速器、同步加速器環(huán)和表面分析等應(yīng)用。設(shè)計(jì)的 StarCell 能同時(shí)抽除大量惰性氣體和氫氣的離子泵。該泵同樣可以高速度和大容量處理甲烷、氬氣和氦氣。StarCell Vaclon Plus 離子泵適合需要在 10–8 mbar 或以上壓力下穩(wěn)定工作的應(yīng)用。
安捷倫VacIon Plus 200大型離子泵性能指標(biāo):
大型 VacIon Plus 泵 | 抽氣口法蘭 | 型號(hào) | 抽速 (L/s)(在 1–6mbar 壓力下的飽和泵)氮?dú)?/span> | 工作壽命(小時(shí))(在 1–6 mbar 壓力下) | 重量 |
VacIon Plus 200
| 8 英寸 CFF (NW 160) | Star Cell | 180 | 80000 | 凈重 51 (112) |
抽速曲線:
技術(shù)規(guī)格: