VP120 Plasma
專為微電子表面清潔與處理設計
可以用于處理各種電子材料,包括塑料、金屬或者玻璃等。
用途
·wire bonding 前焊盤的表面清洗
·集成電路鍵合前的等離子清洗
·ABS 塑料的活化和清洗
·陶瓷封裝電鍍前的清洗
·其他電子材料表面改性和清洗
特性
·采用 13.56MHz 射頻電源搭配自動網(wǎng)絡匹配器 或 中頻40Khz電源
·產(chǎn)品放置治具靈活多變,可適應不同形狀的產(chǎn)品
·產(chǎn)品放置平臺靈活移動,方便操作
·極小的占地面積
技術規(guī)格 | VP120 |
電極 | 有效尺寸 | 400(W)*410(D)mm |
電極分布 | 6層水平分布,極板間距50mm |
真空腔體 | 尺寸 | 785(W)*485(D)*350(H)mm |
材料 | 航空鋁合金 |
主機 | 主機體尺寸 | 1240(W)×1600(H)×1100(D)mm |
安裝面積 | 1500*1500mm |
重量 | 標準機型:500KG |
RF電源 | 功率@頻率 | 美國CERES-600W@13.56MHz或1000W@40Khz |
真空泵 | 變頻器 | 德國西門子變頻器控制真空泵電機 |
機械油泵 | 日本ULAVC-60m3/h |
主要配件 | 氣體流量計 | SevenStar 2通道0-300sccm |
真空探測儀 | 日本ULAVC皮拉尼式 |
破真空閥門 | 日本CKD氣動閥門 |
電磁閥 | 日本SMC真空電磁閥 |
控制方式 | 德國西門子PLC & 人機界面 |
安裝條件 | 電力 | AC380,50/60Hz,3Phase 5wire,5.2KVA |
壓縮空氣 | 0.4-0.6MPa |
工藝氣體 | O2 N2 H2 Ar |
排氣管道接口 | KF40 |
深圳金鉑利萊科技有限公司建議大家在使用等離子清洗機的時候注意以下幾點:
1、正確設置等離子設備的運行參數(shù),按時設備使用說明書來執(zhí)行;
2、保護好等離子體的點火裝置,以確保等離子清洗機可以正常的啟動;
3、等離子設備在啟動前的準備工作,要對相關的人員進行培訓,同時確保操作等離子清洗機的人員可以按照要求嚴格執(zhí)行各項操作;
4、在一次風管沒有通風的時候,等離子體的發(fā)生器運行時間不能超過設備說明書上面要求的時間,防止燒壞燃燒器,造成不必要的損失;
5、如果需要對等離子設備進行維護時請將等離子發(fā)生器進行斷電后再進行相應的操作。
等離子處理設備廣泛應用于等離子清洗、刻蝕、等離子鍍、等離子涂覆、等離子灰化和表面改性等場合。通過其處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。好了,希望上述介紹能夠給各位帶來幫助!