尺寸 | 500 x 750 x 650 mm |
重量 | 80Kg |
類型 | 自動(dòng) |
測(cè)量型號(hào) | ≤ 4" |
測(cè)量方法 | 無(wú)連接的 |
測(cè)量原理 | 反射計(jì) |
特征 | 測(cè)量迅速,操作簡(jiǎn)單 非接觸式,非破壞方式 優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性 2D/3D映射和造型 自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制 電荷耦合器件照相機(jī) 自動(dòng)調(diào)焦 |
活動(dòng)范圍 | 300mm x 300mm |
測(cè)量范圍 | 100?~ 35?(Depends on Film Type) |
光斑尺寸 | 40?/20?,4?(option) |
測(cè)量速度 | 1~2 sec./site (fitting time) |
應(yīng)用領(lǐng)域 | All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Large Size Wafer Measure |
選擇 | Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST) Anti-vibration table |
接物鏡轉(zhuǎn)換器 | Quintuple Revolving Nosepiecs |
焦點(diǎn) | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls |
附帶照明 | 12v 100W Halogen Lamp |
產(chǎn)品規(guī)格
貨號(hào) | 型號(hào) | 名稱 | 規(guī)格 | 價(jià)格 | 備注 | 購(gòu)買 |
ST5030-SL | 薄膜測(cè)厚儀 | 測(cè)量范圍: 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) | 登陸查看 | 來(lái)電詢價(jià) |