設(shè)計(jì)功能

吸附濃縮IC、光電產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，黃光區(qū)內(nèi)光阻涂布等制程工藝揮發(fā)的有機(jī)物，并輸送至后序有機(jī)排氣系統(tǒng)集中處理。避免VOCs在潔凈間環(huán)境內(nèi)積聚，影響產(chǎn)品良品率。適用于含PGMEA、PGME、IPA、環(huán)己酮等為主的有機(jī)揮發(fā)性氣體。恒溫恒濕潔凈環(huán)境，處理效率≥98%。

工藝原理

集成過(guò)濾器、沸石轉(zhuǎn)輪與電加熱器。沸石吸附濃縮潔凈間廢氣中VOCs成分，經(jīng)電加熱器加熱脫附，恢復(fù)吸附能力，持續(xù)吸脫附。經(jīng)沸石濃縮的VOCs進(jìn)入下一步工序。