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無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)(PV-1000)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2017/12/16 10:14:03
  • 訪問次數(shù)587
產(chǎn)品標(biāo)簽:

無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試

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北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司(以下簡稱“合能陽光”)總部位于北京通州工業(yè)開發(fā)區(qū),公司主導(dǎo)產(chǎn)品涉及半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的檢測儀器、工藝和耗材領(lǐng)域,是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)及對外投資于一體的綜合性高科技公司。

公司所服務(wù)的客戶來自于國內(nèi)企業(yè),如賽維LDK、保利協(xié)鑫、比亞迪、中電集團、億晶光電、旭陽雷迪、錦州陽光、Ferro申和熱磁、國泰半導(dǎo)體、晶鑫科技、湖北晶星、大全新能源、新疆新能源、晶龍集團、Pro-Q、光為、國電集團、京運通、七星華創(chuàng)、新天源、超日、*、中國表面物理與化學(xué)研究、成都光電、包頭山晟……等幾百家半導(dǎo)體和太陽能單位。

公司現(xiàn)有員工34人,大專本科以上學(xué)歷25人,研究生6人,博士1人,建筑面積3000m2。

近年來,公司的海外市場發(fā)展勢頭良好,產(chǎn)品出口到美國、歐洲、韓國、新加坡等國家地區(qū),目前公司在和海外同行建立產(chǎn)品加工合作關(guān)系的同時還建立自己的代理商和銷售中心。

 

 
檢測儀器和產(chǎn)業(yè)耗材
PV-1000系列無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)為太陽能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、(總厚度變化)TTV、翹曲及無接觸電阻率測量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)據(jù)傳輸接口及基于Windows的控制軟件,用以進行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。
無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)(PV-1000) 產(chǎn)品信息

 

產(chǎn)品介紹
PV-1000系列無接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測試系統(tǒng)為太陽能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、(總厚度變化)TTV、翹曲及無接觸電阻率測量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)據(jù)傳輸接口及基于Windows的控制軟件,用以進行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。
無接觸硅片綜合測試系統(tǒng)-產(chǎn)品特點
使用MTI Instruments*的推/拉電容探針技術(shù)
每套系統(tǒng)提供zui多三個測量通道
可進行zui大、zui小、平均厚度測量和TTV測量
可進行翹曲度測量(需要3探頭)
用激光傳感器進行線鋸方向和深度監(jiān)視(可選)
集成數(shù)據(jù)采集和電氣控制系統(tǒng)
為工廠測量提供快速以太網(wǎng)通訊接口,速率為每秒5
可增加的直線厚度掃描數(shù)量
與現(xiàn)有的硅片處理設(shè)備有數(shù)字I/O接口
基于Windows的控制軟件提供離線和在線的數(shù)據(jù)監(jiān)控
提供標(biāo)準及客戶定制的探頭
提供基于Windows的動態(tài)鏈接庫用于與控制電腦集成
用渦電流法測量硅片電阻率

無接觸硅片綜合測試系統(tǒng)-技術(shù)指標(biāo)
 晶圓硅片測試尺寸:50mm- 300mm.
      厚度測試范圍:1.7mm,可擴展到2.5mm.
      厚度測試精度:+/-0.25um
      厚度重復(fù)性精度:0.050um
      測量點直徑:8mm
 TTV 測試精度:  +/-0.05um
 TTV重復(fù)性精度: 0.050um
      彎曲度測試范圍:+/-500um [+/-850um]
      彎曲度測試精度: +/-2.0um
      彎曲度重復(fù)性精度: 0.750um
電阻率測量范圍:5-2000ohm/sq0.1-40ohm-cm
電阻率測量精度:2%
電阻率測量重復(fù)精度:1%
晶圓硅片類型:單晶或多晶硅
材料:Si,GaAs,InPGe等幾乎所有半導(dǎo)體材料
可用在:切片后、磨片前、后,蝕刻,拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測等
平面/缺口:所有的半導(dǎo)體標(biāo)準平面或缺口
硅片安裝:裸片,藍寶石/石英基底,黏膠帶
連續(xù)5點測量
應(yīng)用范圍
>切片
>>線鋸設(shè)置
    >>>厚度
      >>>總厚度變化TTV
     >>監(jiān)測
>>>導(dǎo)線槽
>>>刀片更換
>磨片/刻蝕和拋光
>>過程監(jiān)控
>>厚度
>>總厚度變化TTV
>>材料去除率
>>彎曲度
>>翹曲度
>>平整度
> 
>>材料去除率
> zui終檢測
>> 抽檢或全檢
>>  終檢厚度


典型客戶
美國,歐洲,亞洲及國內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。
15168338725
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