概要
HORIBA藥液濃度計CS-100F1系列是針對在半導(dǎo)體制造中的清洗及蝕刻工藝中所使用的各種藥液進行高精度濃度監(jiān)測的設(shè)備。
它通過利用光纖傳播光信號，把樣品單元直接組裝到清洗裝置配管上，實現(xiàn)實時在線測量。 同時，1臺單一的濃度計最多可以測量4種藥液或量程，在單槽/單晶圓清洗系統(tǒng)中進行單線監(jiān)測成為了可能。此外，測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。
特征
特點
●利用1臺濃度計可以監(jiān)測4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測。
●實時濃度監(jiān)測。測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。
●監(jiān)測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩(wěn)定性。
●輕便小巧的設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間。
●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。
主要特點
●利用1臺濃度計可以監(jiān)測4種(藥液或量程)的多樣監(jiān)測。
1臺濃度計中最多可存儲4種校正系數(shù)(藥液或量程)，可監(jiān)測單槽或單晶圓等批次清洗方式的清洗裝置1種以上藥液(或者不同的藥液配比)濃度。
●實時濃度監(jiān)測。測量單元型產(chǎn)品適用于更高精度需求應(yīng)用的濃度反饋控制。 通過使用可直接組裝在清洗裝置主配管中的在線檢測單元，實現(xiàn)了實時的濃度監(jiān)測。為了強調(diào)穩(wěn)定性，也可使用檢測單元裝置型的濃度計，以進行反饋控制。可以保持在藥液濃度值的允許范圍內(nèi)，同時也可以避免不必要的藥液更換工作。
●監(jiān)測周期大約3秒，300mm工藝的濃度管理。
以大約3秒這樣短的測量周期實現(xiàn)了高速響應(yīng)性。支持多槽、單槽?單晶圓方式清洗裝置的精確濃度管理。
●通過*分離電氣部分和測量部分以提高穩(wěn)定性。
使用光纖傳輸光源信號確保了了濃度計和檢測單元的*分離。由于可以把濃度計設(shè)置在藥液氣體以外，所以不需要擔(dān)心腐蝕等現(xiàn)象。
●輕便小巧的設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間。
由于底面面積只有本公司原來產(chǎn)品的2/3左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。除此以外，由于重量較輕，所以也可以設(shè)置在清洗裝置的上面。
●通過減少清洗工藝中的批次不良以提高產(chǎn)量。
通過使用監(jiān)測輸出，進行各成分藥液的補給控制，從而實現(xiàn)了高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高提高產(chǎn)量。
規(guī)格
型號 | CS-151F1 | CS-152F1 | CS-150F1 | ||
|---|---|---|---|---|---|
測量對象 | SC-1 | SC-2 | SPM | ||
1臺最多可進行4種藥液或量程測量的多樣監(jiān)測。 | |||||
測量原理 | 吸收光譜測定法 | ||||
濃度計算原理 | 溫度補償型多變量解析法 | ||||
量程 | NH3：0.00%?1.00% | HCl：0.00%?2.00% | H2SO4：70.0%?96.0% | ||
再現(xiàn)性精度(質(zhì)量%) (室溫變化±1℃以內(nèi)) | NH3：±0.15% | HCI：±0.15% | H2SO4：±0.50% | ||
樣品溫度 | 20?80℃(使用在線檢測單元) | ||||
測量周期 | 約3秒 | ||||
LCD顯示以及輸入內(nèi)容 |
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串行輸入 |
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并行輸入 |
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并行輸出 |
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藥液溫度輸入 | 接頭排連接(接線柱螺絲M3) | ||||
模擬輸出 | ?成分濃度報警4種：4?20mA | ||||
光纖 | CS-100F1系列專用光纖(安裝溫度25±15℃) | ||||
樣品檢測單元 | 可適用于各種藥液的專用樣品檢測單元(在線檢測單元、檢測單元裝置)。 | ||||
電源 | AC 100V?230V(單相)±10%、50/60Hz、約100VA | ||||
外形尺寸 | 205(W)×329(D)×269(H)mm(突起部除外) | ||||
重量 | 大約11kg | ||||
產(chǎn)品相關(guān)圖及其它
