光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡系統(tǒng)輕松解決以上不足，*突破顯微鏡的光學(xué) 固有限制?？梢栽?0秒之內(nèi)得到樣品的三維立體圖像。可以輕松的對(duì)樣品不同高度進(jìn)行優(yōu)質(zhì)成 像，得到平面優(yōu)質(zhì)圖片，繼而構(gòu)建3D模型，并通過智能測(cè)量模式，準(zhǔn)確測(cè)量三維空間尺寸。在得到優(yōu)質(zhì)平面圖像/3D圖像的同時(shí)，本系統(tǒng)還提供共焦點(diǎn)云的全自由度模型三維觀察使得用戶能夠從任意角度觀察樣品，系統(tǒng)通過一體化的設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)高速自動(dòng)顯微鏡3D觀察、測(cè)量。
光學(xué)3D表面輪廓儀顯微鏡技術(shù)要求
光源是數(shù)碼成像的基礎(chǔ)之一，正確匹配的照明模式是展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)的必需條件，系統(tǒng)所采用的照明裝置，均為機(jī)器視覺系統(tǒng)所用光源。具有光譜范圍廣，色彩真實(shí)，形態(tài)多樣，長(zhǎng)壽命（大于3萬(wàn)小時(shí)），根據(jù)不同用途，有多種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能組建復(fù)式照明技術(shù)，配合數(shù)字消光技術(shù)（HDR)，能展現(xiàn)樣品細(xì)節(jié)。
高精度壓電位移平臺(tái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)運(yùn)動(dòng)：
全新的壓電位移平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)高分辨率及精度、毫秒至亞毫秒級(jí)快響應(yīng)速度、簡(jiǎn)便的控制方式、通過超薄的設(shè)計(jì)，減輕了整體重量，在運(yùn)動(dòng)中具有準(zhǔn)確性，與光譜共焦技術(shù)實(shí)現(xiàn)結(jié)合，可實(shí)行大范圍精準(zhǔn)掃描，得到計(jì)量級(jí)結(jié)果
光譜共焦技術(shù)具有泛的材質(zhì)適應(yīng)性、穩(wěn)定性、檢測(cè)效率：
基于白光色散技術(shù)的光譜共聚焦鏡頭，具有廣泛的測(cè)量適應(yīng)性，除常規(guī)材料之外，即使在光滑的玻璃表面、研磨后的鏡面材料，透明膠水層、薄膜材料均能實(shí)現(xiàn)有效的測(cè)量，其Z向分辨率可達(dá)到10nm以下，配合高精度的壓電位移臺(tái)，能對(duì)樣品實(shí)現(xiàn)大面積準(zhǔn)確輪廓測(cè)量。得到的輪廓模型更可與光學(xué)景深圖像融合，最終得到計(jì)量級(jí)的彩色3D模型。
技術(shù)參數(shù)
PZ-CS3500H（手動(dòng)） | PZ-CS3500A（全自動(dòng)） | ||||||
光學(xué)系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)共軛防塵光學(xué)系統(tǒng) | |||||
變焦倍率 | 12：1 超大變倍比 | ||||||
變焦方式 | 電動(dòng)變焦 | ||||||
工作距離 | 80mm 標(biāo)準(zhǔn)1X物鏡,24X-280時(shí) | ||||||
倍數(shù)識(shí)別 | 自動(dòng)識(shí)別放大倍率 | ||||||
顯微相機(jī) | 圖像傳感器 | 1/1.8英寸，高速彩色CMOS芯片，1000萬(wàn)像素 | |||||
幀速率 | 60幀/秒 | ||||||
圖像分辨率 | 1000萬(wàn)像素（4400X2300） | ||||||
色彩還原 | 高性能色彩引擎Ultra-FineTM還原技術(shù) | ||||||
HDR功能 | 支持 | ||||||
照明裝置 | 視覺照明器 | 高亮度LED照明 | |||||
光源壽命 | 30000小時(shí)（設(shè)計(jì)值） | ||||||
照明方法 | 明場(chǎng) | 標(biāo)準(zhǔn) 同軸光源模式 | |||||
暗場(chǎng) | 單光源 常規(guī)觀察模式 | 雙光源系統(tǒng) 常規(guī)+深孔觀察模式 | |||||
斜射 | 四分區(qū)照明模式（軟件控制） | ||||||
偏光 | 標(biāo)準(zhǔn)（可選） | ||||||
微分干涉 | 標(biāo)準(zhǔn) 微分干涉需選擇專用干涉鏡頭（可選） | ||||||
透射 | 標(biāo)準(zhǔn)（可選） | ||||||
聚焦與行程 | 聚焦方式 | 手動(dòng)聚焦+自動(dòng)聚焦 | |||||
電動(dòng)行程 | 電動(dòng)升降120mm，可觀察150mm高度樣品 | ||||||
觀察角度 | 支座垂直與傾斜 | 垂直觀察模式/傾斜觀察模式（-90o- +90o） | |||||
平臺(tái)旋轉(zhuǎn) | 載物平臺(tái)360o旋轉(zhuǎn)觀察 | ||||||
傾斜角度顯示 | 不支持 | 支持（可選） | |||||
光學(xué)物鏡組 | 低倍觀察物鏡 | 1X標(biāo)準(zhǔn)物鏡 工作距離90mm | |||||
手持觀察物鏡 | 0-250X放大倍率 智能顯示倍數(shù)，接觸式穩(wěn)定觀察 聚焦性質(zhì) ：一鍵式自動(dòng)聚焦功能 | ||||||
高倍觀察物鏡 | LY-LENS5X | LY-LENS10X | LY-LENS20X | LY-LENS50X | LY-LENS100X | ||
長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | 長(zhǎng)工作距離 | |||
光譜傳感器 | 白光干涉原理 | 0.1mm-25mm量程，分辨率0.2nm,多種型號(hào)（選配） | |||||
精密平臺(tái) | 行程范圍 | 手動(dòng)單模式 70mmX50mm | 雙模式：手動(dòng)70mmx50mm | ||||
平臺(tái)精度 | 0.1mm | 壓電位移臺(tái)：50nm | |||||
承重值 | 2KG | 2.5KG | |||||
3D觀測(cè) | 3D超景深 | 單視野3D觀測(cè) | 單視野觀測(cè)、3D拼接觀測(cè) | ||||
顯示 | 分辨率 | 24寸顯示器 1920X1080高清觀察 | |||||
