Pfeiffer 分子泵在 OLED設(shè)備上的應(yīng)用
上海伯東為德國(guó) Pfeiffer 普發(fā)真空在中國(guó)華東、華南地區(qū)的代理商，于近期成功銷售 Pfeiffer HiPace 700 系列分子泵，Penta 35 系列雙級(jí)旋片真空泵給國(guó)內(nèi)專業(yè)從事 OLED設(shè)備制造商。并且成功替換該公司原先使用的日本低溫泵 (Cryo pump)。
OLED:有機(jī)發(fā)光二極管（Organic Light-Emitting Diode），又稱為有機(jī)電激光顯示（Organic Electroluminesence Display, OELD）。OLED具有自發(fā)光的特性，采用非常薄的有機(jī)材料涂層和玻璃基板，當(dāng)電流通過(guò)時(shí)，有機(jī)材料就會(huì)發(fā)光，而且OLED顯示屏幕可視角度大，并且能夠顯著節(jié)省電能。
客戶案例：國(guó)內(nèi)專業(yè)從事 OLED設(shè)備制造商，此款 OLED 設(shè)備主要用于科研機(jī)構(gòu)或大學(xué)實(shí)驗(yàn)之用，基本技術(shù)要求如下：
1. 腔體體積: 約 150 L 左右
2. 極限真空度：1 x 10-7 mbar
3. 30 分鐘 – 1 小時(shí)內(nèi)達(dá)到 5 x 10-5 mbar
4. Gas: Ar, O2
此類 OLED 生產(chǎn)設(shè)備，用加熱使材料蒸發(fā)的方法，在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜。主要用于有機(jī)半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能研究實(shí)驗(yàn)、有機(jī)半導(dǎo)體器件的原理研究實(shí)驗(yàn)及 OLED 工藝研究。Pfeiffer Hipace 系列分子泵搭配 Penta 35雙級(jí)旋片泵是其理想的選擇。
上海伯東代理的Pfeiffer HiPace 700系列分子泵具有以下這些優(yōu)點(diǎn)：
1． 模塊化設(shè)計(jì)原則輕松滿足客戶多種應(yīng)用需求
2． 集成可變頻驅(qū)動(dòng)（TC 400）及電源供應(yīng)系統(tǒng)，無(wú)需額外的控制
3． 分子泵可提供360°安裝方位
4． 標(biāo)準(zhǔn)水冷集成裝置
5． 標(biāo)準(zhǔn)的 RS-485 接線，可提供遠(yuǎn)程控制
6． 可提供防腐蝕特定型號(hào)
7． 具有溫度傳感及控制單元，可保護(hù)分子泵的安全可靠運(yùn)行
8． 業(yè)界的半導(dǎo)體 Semi S2 及 IP 54 防護(hù)等級(jí)
