KosakaET150臺(tái)階儀
株式會(huì)社小坂研究所(KOSAKA)是于1950年創(chuàng)立,也是日本發(fā)表光學(xué)杠桿表面粗糙度計(jì),是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的專業(yè)廠商,主要有測(cè)定/自動(dòng)/流體三大部門。其中測(cè)定部門為代表性單位且在日本精密測(cè)定也占有一席無(wú)法被取代的地位。
KOSAKAET150基于WindowsXP操作系統(tǒng)為多種不同表面提供全面的形貌分析,包括半導(dǎo)體硅片、太陽(yáng)能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。使用金剛石(鉆石)探針接觸測(cè)量的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200能精確可靠地測(cè)量出表面臺(tái)階形貌、粗糙度、波紋度、磨損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。
ET150配備了各種型號(hào)探針,提供了通過(guò)程序控制接觸力和垂直范圍的探頭,彩色CCD原位采集設(shè)計(jì),可直接觀察到探針工作時(shí)的狀態(tài),更方便準(zhǔn)確的定位測(cè)試區(qū)域。