產(chǎn)品簡介
旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)簡稱旋涂機(jī)適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產(chǎn)品具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定和啟動(dòng)迅速等優(yōu)點(diǎn),并能保證半導(dǎo)體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配無油真空泵一起使用。
技術(shù)參數(shù)
1、工作電源 AC220V 50Hz
2、電源功率 250W
3、裝片直徑 選擇10/20/30……250mm (標(biāo)配兩只)
4、 4個(gè)速度、時(shí)間段(1V、2V、3V、4V,T000)記憶
5、 八組程序(1-8)記憶
6、加速一致性(誤差)±0.5%
7、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%
9、勻膠時(shí)間 0-240秒
10、速度范圍 100-7000 ,50轉(zhuǎn)一檔
11、接膠盤:多種材質(zhì)可供選擇(不銹鋼/四氟乙烯)
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.多種參數(shù)規(guī)格可供選擇包含單頭、多頭,單速、多速等系列產(chǎn)品,滿足客戶不同需求。
2.其勻膠速度、時(shí)間分多個(gè)時(shí)段,并分別無級可調(diào)。
3.電器線路可靠,電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),吸片采用電磁閥控制氣路,這樣適合流水線的工藝,一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾個(gè)勻膠機(jī)工作,提高了效率。