清洗作用:
特點
技術(shù)參數(shù)
名稱(Name) | 真空等離子清洗機 |
型號(Model) | VAC-P110L Plasma |
控制系統(tǒng)(Control system) | PLC+觸摸屏 |
電源(Power supply) | 380V/AC,50Hz,3KW |
射頻電源功率(RF Power) | 600W/13.56MHZ |
容量(Volume) | 110L(Option) |
層數(shù)(Electrode of plies) | 8 |
氣體通道(Gsa) | 兩路工作氣體可選:Ar、N2、H2、CF4、O2 |