光譜橢偏儀SENresearch 4.0
寬光譜范圍和高光譜精度
SENresearch 4.0 光譜橢偏儀覆蓋寬的光譜范圍，從190 nm(深紫外)到3500 nm(近紅外)。傅立葉紅外光譜儀FTIR提供了高光譜分辨率用以分析厚度高達(dá)200μm的厚膜。
沒(méi)有光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)(步進(jìn)掃描分析器原理)
為了獲得測(cè)量結(jié)果，在數(shù)據(jù)采集過(guò)程中沒(méi)有光學(xué)器件運(yùn)動(dòng)。步進(jìn)掃描分析器(SSA)原理是SENresearch 4.0光譜橢偏儀的一個(gè)特性。
雙補(bǔ)償器2C全穆勒矩陣測(cè)量
通過(guò)創(chuàng)新的雙補(bǔ)償器2C設(shè)計(jì)擴(kuò)展了步進(jìn)掃描分析器SSA原理，允許測(cè)量全穆勒矩陣。該設(shè)計(jì)是可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)和實(shí)現(xiàn)成本效益的附件。
SpectraRay/4綜合橢偏儀軟件
SpectraRay/4 是用于材料分析的全功能軟件包。SpectraRay/4 包括用于與引導(dǎo)圖形用戶界面進(jìn)行研究的交互模式和用于常規(guī)應(yīng)用的配方模式
低成本高效益的光譜橢偏儀SENpro
成本效益
SENpro是具成本效益的光譜橢偏儀，同時(shí)不影響測(cè)量性能。
可變?nèi)肷浣?/strong>
光譜橢偏儀SENpro包括可變?nèi)肷浣堑慕嵌扔?jì)，40°—90°，步進(jìn)值5°，用于優(yōu)化橢偏測(cè)量。
步進(jìn)掃描分析器
SENpro具有的步進(jìn)掃描分析器。在數(shù)據(jù)采集過(guò)程中，偏振器和補(bǔ)償器固定，以提供高的橢偏測(cè)量精度。
紅外光譜橢偏儀SENDIRA
橢偏振動(dòng)光譜
利用紅外光譜中分子振動(dòng)模的吸收帶，可以分析薄膜的組成。此外，載流子濃度可以用傅立葉紅外光譜儀FTIR測(cè)量。
傅立葉紅外光譜儀FTIR適用
集成賽默飛世爾Thermo Fisher制造的型號(hào)FTIR iS50紅外光譜儀。它也適用于一般的振動(dòng)光譜。
