這是一款高級閥門流量計，結(jié)合了高精度流量計和可精確控制流量的針閥。
該制品非常適用于計量控制微小流量。
- 可實現(xiàn)超小流量控制
- 使用精密針閥
- 下方閥門和上方閥門兩種類型
- 種類豐富
用途
- 用于整合設(shè)備
- 用于半導(dǎo)體相關(guān)的燃?xì)庠O(shè)備
- 用于生物工業(yè)
- 用于真空管路控制
使用示例
尺寸圖
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格
| 氣體 | 流體 | ||
|---|---|---|---|
| 流體名稱 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（50 L/MIN以下為實際氣體校準(zhǔn)） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準(zhǔn)，實際氣體校準(zhǔn)請另行咨詢 ※選項：2種流體刻度 | 標(biāo)準(zhǔn)流體（H2O） 其他氣體在轉(zhuǎn)換后進行校準(zhǔn) （但是，會產(chǎn)生與實際液體的誤差。） | |
| 流量范圍 | 0.5~5 ML / MIN至10~100 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.2~2 L / MIN（參考容量列表） ※選項：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（計量點）※選項：FS±1％（計量點） | FS±2％（計量點） | |
| 耐壓 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※選項20：1 | ||
| 材質(zhì) | SS制 | RS制 | |
|---|---|---|---|
| 主體區(qū)塊 | SUS316 | 黃銅 | |
| 錐形管 | 硬玻璃 | ||
| 密封材料 | 氟橡膠 | NBR | |
| 浮標(biāo) | 硬質(zhì)玻璃，SUS316 | ||
| 保護罩 | 丙烯 | ||
| 使用溫度 | 60℃ | ||
| 連接端口 | Rc1 / 4（標(biāo)準(zhǔn)） | ||
容量列表
可選規(guī)格
- F.S. ±1％（計量點）
- 0.5~3ML / MIN空氣（大氣壓）規(guī)格
注）全長為120mm的情況。 - 全氟醚橡膠O型圈規(guī)格
注）沒有用于關(guān)閉針部的O型圈。
注）氣體1L / MIN以下無過濾器。 - 雙刻度規(guī)格
- 20：1刻度規(guī)格
