MEMS技術(shù)核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01詳細(xì)介紹:
名稱:MEMS技術(shù)核心芯片級熱膜式微小流量檢測流量傳感器AFE-01
品牌:SST
AFE-01由四個(gè)鉑金薄膜電阻構(gòu)成。阻抗低,加熱區(qū)面積小。加熱器左右兩邊各一個(gè)高阻抗電阻,用來檢測流速和流向。還有一個(gè)電阻用來檢測氣體的溫度??拷訜嵩膬蓚€(gè)電阻連接成一個(gè)電橋。產(chǎn)生檢測流速和流向功能的一個(gè)輸出信號。沒有流量的情況下,這兩個(gè)電阻達(dá)到同樣的加熱狀態(tài)。當(dāng)有流量存在時(shí),其中一個(gè)電阻的溫度比另一個(gè)低很多,具體哪個(gè)電阻溫度變低由流向決定。溫度差可以測量得到,由流速和流向決定。流量傳感器的加熱時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間非常短,因?yàn)樗臒豳|(zhì)量小。這種方式可以檢測到非常微小的流速變化。為了得到更高的流動(dòng)速度,溫度傳感器可以與恒溫風(fēng)速儀相連接。
優(yōu)勢
1、流向檢測
2、檢測小質(zhì)量物體的流動(dòng)
3、簡單的信號處理電路和標(biāo)定
4、固定的機(jī)械元件
5、優(yōu)異的重復(fù)性
6、優(yōu)異的長期穩(wěn)定性
7、適用于多種行業(yè)或安裝到不同外殼
8、的性價(jià)比
應(yīng)用
1、差壓傳感器
2、HVAC和樓宇控制方案
3、醫(yī)療設(shè)備
4、汽車行業(yè)
5、設(shè)備檢測
技術(shù)指標(biāo)
測量原理:熱量原理
檢測量程:0 ... 50 m/s (以CTA模式的電路為例)
靈敏度:0.001 m/s
精 度:< 2%測量值(取決于電路和標(biāo)定)
響應(yīng)時(shí)間:T63% < 0.5 S
溫度范圍:-20…… +150 °C
電氣連接:絕緣漆包銅線 (一般長度25 mm)
加熱元件:RH (25°C) = 34 □± 10%
檢測元件:Rs_i (25°C) = 425 □ ± 10%
參考元件:RR (25°C) = 710 □ ± 10%
供電電壓:一般為 2 …… 5 V(取決于氣體流速)
基片材料:低熱導(dǎo)陶瓷