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PlasmaPro 800 RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2022/11/11 16:03:55
  • 訪問次數(shù)221
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司,經(jīng)過十多年的紫外光專業(yè)技術(shù)沉淀,可以根據(jù)客戶特殊要求提供定制化服務(wù),研發(fā)設(shè)計(jì)組裝:紫外臭氧清洗機(jī)(UV清洗機(jī)),準(zhǔn)分子清洗機(jī),等離子清洗機(jī)/去膠機(jī)等科研以及生產(chǎn)設(shè)備,擁有自主品牌及注冊(cè)商標(biāo)。 同時(shí)我們代理歐美日多家高科技設(shè)備廠家高性價(jià)比產(chǎn)品, 始終堅(jiān)持創(chuàng)新, 技術(shù), 服務(wù), 誠(chéng)信的企業(yè)文化,為廣大中國(guó)及海外客戶提供的儀器設(shè)備和材料的整體解決方案。 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué), 生命科學(xué)/生物醫(yī)療等領(lǐng)域的研發(fā)和生產(chǎn), 客戶群體例如高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等。 半導(dǎo)體/微納,光電/光學(xué) 產(chǎn)品主要有: 德國(guó)ParcanNano(Nano analytik)針尖光刻機(jī),電子束光刻機(jī), 激光直寫光刻機(jī),紫外光刻機(jī),微納3D打印機(jī),德國(guó)Sentech刻蝕機(jī)/鍍膜機(jī)及原子沉積,英國(guó)HHV磁控/電子束/熱蒸發(fā)鍍膜機(jī),微波離子沉積機(jī)MPCVD,芬蘭Picosun原子層沉積機(jī),電子顯微鏡, 德國(guó)Bruker布魯克原子力顯微鏡/微納表征/光譜儀, 美國(guó)THERMO FISHER賽默飛光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,美國(guó)Sonix超聲波顯微鏡, 德國(guó)耐馳Netzsch熱分析儀, 德國(guó)Optosol吸收率發(fā)射率檢測(cè)儀, 日本SEN UV清洗機(jī)/UV清洗燈,美國(guó)Jelight紫外清洗機(jī)/紫外燈管,德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)等*技術(shù)產(chǎn)品。 生命科學(xué)/生物醫(yī)療 產(chǎn)品主要有:PCR儀,核酸質(zhì)譜儀/核酸檢測(cè)儀,電子顯微鏡,紫外設(shè)備,光譜/色譜/質(zhì)譜/波譜儀,生物芯片,試劑,實(shí)驗(yàn)耗材等。 并可依據(jù)客戶需求,研發(fā)定制相關(guān)產(chǎn)品。我們以高性價(jià)比的優(yōu)勢(shì)為客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù),為高等院校, 研究所,科技企業(yè)及醫(yī)療機(jī)構(gòu)等客戶提供儀器設(shè)備和材料。
英國(guó)Oxford 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaPro 800 RIE,是結(jié)構(gòu)緊湊、且使用方便的直開式系統(tǒng),該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應(yīng)離子蝕刻(RIE)工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺(tái)能夠處理量產(chǎn)級(jí)別的批量以及300mm晶圓的工藝。
PlasmaPro 800 RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息

英國(guó)Oxford 反應(yīng)離子刻蝕機(jī)PlasmaPro 800 RIE

概述:

PlasmaPro 800系列是結(jié)構(gòu)緊湊、且使用方便的直開式系統(tǒng),該系統(tǒng)為大批量晶圓和300mm晶圓上的反應(yīng)離子蝕刻(RIE)工藝提供了靈活的解決方案。大尺寸的晶圓平臺(tái)能夠處理量產(chǎn)級(jí)別的批量以及300mm晶圓的工藝。

高性能工藝

準(zhǔn)確的襯底溫度控制

準(zhǔn)確的工藝控制

成熟的300mm單晶圓失效分析工藝

選項(xiàng)

PlasmaPro 800 PECVD

旨在生產(chǎn)高質(zhì)量的均勻介質(zhì)薄膜。PECVD 中的應(yīng)力控制是由可選的或者混合的高/低頻等離子體源提供的, 使通過調(diào)整工藝得到具有張應(yīng)力,壓應(yīng)力或者低應(yīng)力的沉積薄膜成為可能。

PlasmaPro 800 RIE/PE:在同一設(shè)備上結(jié)合了RIE的各向異性和 PE模式刻蝕的高選擇性。

PlasmaPro 800 RIE:成熟的干法刻蝕廣泛應(yīng)用于整個(gè)工業(yè)領(lǐng)域。

特征:

為化合物半導(dǎo)體、光電子和光子學(xué)應(yīng)用提供了的工藝靈活性,PlasmaPro 800 可提供:

大型下電極 - 低成本

刻蝕終點(diǎn)監(jiān)測(cè) - 可靠性和可維護(hù)性俱佳

通過激光干涉儀與/或發(fā)射光譜進(jìn)行終點(diǎn)監(jiān)測(cè) - 增強(qiáng)刻蝕控制

可選擇帶有4-、8-或12-條氣路的氣柜 - 可提供靈活的工藝和工藝氣體,可以與主機(jī)分離,放置在遠(yuǎn)端服務(wù)區(qū)

近距離耦合渦輪泵 - 提供*的泵送速度加快氣體的流動(dòng)速度

數(shù)據(jù)記錄 - 追溯腔室的歷史狀態(tài)以及工藝條件

液體冷卻和/或電加熱電極 - 出色的電極溫度控制和穩(wěn)定性

應(yīng)用:

使用我們的具有特殊配置的失效分析設(shè)備進(jìn)行干法刻蝕解剖工藝 —— 具有RIE和 PE兩種模式
RIE/PE工藝涵蓋了從封裝好的芯片和裸芯片到整片300mm晶圓刻蝕
高質(zhì)量的PECVD 沉積的SiNx和SiO2薄膜 ,適用于光子學(xué)、介電層鈍化和諸多其它領(lǐng)域
SiO2,SiNx和石英刻蝕
金屬和聚酰亞胺有機(jī)物刻蝕
用于高亮度LED生產(chǎn)的鈍化沉積
III-V族刻蝕工藝

15700106413
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