無氧烘箱,光刻膠固化烘箱應(yīng)用工藝
無氧烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI膠固化烘烤、BCB固化,光刻膠固化、LCP液晶聚合物熱處理、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,模擬線性升降溫環(huán)境,特別適合集成電路/半導(dǎo)體制造、COB封裝、醫(yī)療衛(wèi)生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業(yè)的無氧化干燥烘烤工藝要求,廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研等場所。
無氧烘箱,光刻膠固化烘箱特點
精度高,可調(diào)整;
溫度穩(wěn)定性強(qiáng),可重復(fù)性高;
大容量,可批量生產(chǎn);
兼容性好,適用于2--12寸晶圓;
智能化,操作方便,一鍵運(yùn)行,無需人工值守;
快速降溫,具有輔助降溫裝置,提高生產(chǎn)效率;
無氧烘箱性能:
溫度范圍:RT+50~450℃;
內(nèi)箱尺寸:多尺寸定制;
材質(zhì):SUS304/316不銹鋼;
氧含量:≤ 20ppm;
數(shù)據(jù)輸出:溫度記錄/氧濃度記錄
保護(hù)功能:短路保護(hù)、漏電保護(hù)、超溫保護(hù)、電機(jī)過電流保護(hù)、電磁門禁保護(hù)
可選功能:
潔凈度:class100
真空度:10pa
自動上下料:機(jī)械手
工業(yè)自動化:MES/GEM
無氧烘箱使用環(huán)境
環(huán)境溫、濕度5℃~+35℃,相對濕度:≤85%;
周圍無強(qiáng)烈震動;
無陽光直接照射或其它熱源直接輻射,
周圍無強(qiáng)烈電磁場影響;
周圍無高濃度粉塵及腐蝕性物質(zhì);