近年，涌現出許多治理工業(yè)廢氣污染問題的各種技術，如超聲波、光催化氧化、生物法、冷凍法、焚燒法等。其中低溫等離子體作為一種 、低能耗、處理量大、操作簡單的環(huán)保新技術來處理有毒、有害及難降解物質，低溫等離子設備是近年來一項重大科技成果，具有其它方法的優(yōu)勢。隨著經濟的發(fā)展，低溫等離子廢氣處理設備環(huán)境污染問題日益突出，各種類型的環(huán)境污染層出不窮，嚴重危及了人類的健康與生存。為了人類自身的安危，治理環(huán)境問題迫在眉睫。

低溫等離子廢氣處理設備在氣態(tài)污染物治理方面優(yōu)勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生 電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態(tài)污染物的目的。

等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期 換，脫附時還有可能造成二次污染；燃燒法需要很高的操作溫度；生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時消除混合污染物(有些情況還具有協(xié)同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統(tǒng)構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。低溫等離子廢氣處理設備應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態(tài)污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。