硅片拋光機(jī)、高精密硅片拋光機(jī)、硅片拋光機(jī)廠家
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硅片拋光機(jī)工作原理:
本系列硅片拋光機(jī)由四個吸附盤吸附硅片與拋光盤做逆時針旋轉(zhuǎn)來達(dá)到拋光的目的。
硅片拋光機(jī)特點:
1.本系列拋光機(jī)的吸附盤由四臺單獨的電機(jī)驅(qū)動、速度與壓力可調(diào)。
2.控制系統(tǒng)中采用PLC彩色終端等*技術(shù),系統(tǒng)的響應(yīng)速度更快、更精確,并具有遠(yuǎn)程監(jiān)控,遠(yuǎn)程維護(hù)的功能;
3.本系列拋光機(jī)運行平穩(wěn),拋光后的產(chǎn)品厚度公差可控制在正負(fù)0.002mm范圍內(nèi),粗糙度可達(dá)到0.0005mm。
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