三維表面形貌儀 采用了上等光學系統(tǒng),可通過非破壞觀察法生產高畫質的圖像并進行**的3D測量,可以滿足不同樣品的觀測需求
三維表面測量儀輪廓儀臺階儀(納米級)NanoFocus2000是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款檢測設備
采用垂直掃描白光干涉和移相干涉技術，實現(xiàn)對樣品表面粗糙度、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征的納米級三維精密測量。廣泛應用于半導體工藝、航空航天、太陽能電池工藝、材料表面工程、MEMS、超精密加工等領域。
三維表面測量儀輪廓儀臺階儀(納米級)NanoFocus2000產品特點：
測量精度重復性達到世界較高水平
關鍵硬件采用美國、德國、日本等
配備進口第三方校準標準件
高性價比微觀形貌測量設備
迅捷、高效的上等售后服務
覆蓋范圍廣
兼容多種測量和觀察需求
保護性
非接觸式光學干涉測量
可操作性
“一鍵式”操作更簡單、高效
智能化
特殊形狀智能計算特征參數(shù)
個性化
定制化測試報告
NanoFocus2000三維表面微觀形貌檢測儀主要由精密載物臺、照明系統(tǒng)、光學干涉成像系統(tǒng)、實現(xiàn)移相運動的微位移系統(tǒng)、圖像采集系統(tǒng)及圖像數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。整個檢測儀放置在氣浮抗振平臺上。載物臺用于安放被測件，同時通過傾斜和XY二維平移調整使被測面**定位于感興趣的區(qū)域；光源及照明系統(tǒng)提供給被測面均勻又充分的反射式照明；干涉成像系統(tǒng)采用Mirau干涉物鏡結構獲取被測表面干涉圖像；采用壓電陶瓷傳感器（PZT）實現(xiàn)微位移控制；通過CCD與自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)采集并處理干涉圖像，獲得被測面的相位信息進而得到表面輪廓。
三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 主要指標：
? CCD分辨率：像素1280x960
? 測試模式：PSI + VSI 檢測模式
? 縱向分辨率：＜0.1nm
? RMS重復性：＜0.01nm，1σ
? 臺階測量：準確度≤0.75％
? 臺階高重復性≤0.1％，1σ
? 高清晰無限遠成像系統(tǒng)，白光高效LED,光譜濾光
? Nikon干涉物鏡配置2.5x，5x，10x，20x，50x
? 200mm手動樣品臺 （XY高精度）+ 傾斜±6°
三維表面測量儀/三維表面形貌儀NanoFocus2000(納米級) 分析及控制軟件：
? 三維分析處理迅速，結果實時更新
? 縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像顯示
? 自主設定測量閾值，三維處理自動標注
? 測量模式可根據(jù)需求自由切換
? 可創(chuàng)建簡單工作流程，簡化重復工作
? 三維圖像支持高清打印
? 可進行軟件在線升級和遠程支持服務
外形尺寸：
? 外形臺式：氣動防震平臺
? 重量NanoFocus2000 ：130Kg
? 尺寸（高×寬×長）： 800×490×480 （mm）
環(huán)境要求：
? 溫度：24℃ ± 2℃
? 溫度變化率：<2.0℃/30 分鐘
? 濕度相對濕度：10%—70%，無凝結
? 防震需要隔離：1—120Hz 的震動
附件：
? 物鏡Nikon 干涉物鏡，20× (可選配2.5×，5×， 10×， 50×）
? 工作臺TMC 防震平臺（需要地面振動環(huán)境達到VC-D 級別，無空氣流動）
? 標準臺階塊臺階高標準塊(選配，100nm、1um、5um、10um、25um)
