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體積電阻率表面電阻測(cè)試儀

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公司名稱北京中航鼎力儀器設(shè)備有限公司
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更新時(shí)間2023/1/8 12:17:49
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北京中航鼎力儀器設(shè)備有限公司（簡(jiǎn)稱鼎力儀器，DLYQ）于2014年注冊(cè)成立，注冊(cè)資金2000萬元。是以中國(guó)航空航天研究院，清華大學(xué)，北京航空航天大學(xué),北京工業(yè)大學(xué)精儀系專家作為公司技術(shù)團(tuán)隊(duì)。公司致力于各類試驗(yàn)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)、制造及銷售，并有自主研發(fā)軟件的專業(yè)團(tuán)隊(duì)，公司總部坐落于美麗富饒的政治經(jīng)濟(jì)文化交流中心——北京市，物華天寶，人杰地靈。公司自創(chuàng)建以來，一直保持著健康穩(wěn)定的發(fā)展態(tài)勢(shì)，并以超過30%的年均增長(zhǎng)速度快速持續(xù)發(fā)展，完善的客戶服務(wù)體系，確保了鼎力儀器產(chǎn)品的設(shè)計(jì)*，質(zhì)量穩(wěn)定，供貨及時(shí)和服務(wù)周到。公司擁有自主的設(shè)計(jì)資質(zhì)，已獲得十余項(xiàng)產(chǎn)品。公司擁有一批專業(yè)從事設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試及售后服務(wù)的員工隊(duì)伍：在軟件設(shè)計(jì)和技術(shù)研發(fā)上，公司擁有清華大學(xué)、工業(yè)大學(xué)工程師的專家團(tuán)隊(duì)和專業(yè)*、勇于創(chuàng)新的中青年專業(yè)技術(shù)人員和項(xiàng)目人員；鼎力儀器本著“鑄造輝煌，唯有質(zhì)量”的堅(jiān)定信念。鼎力儀器立志打造專業(yè)精深，通過不斷創(chuàng)新及與用戶的深入合作持續(xù)改進(jìn)產(chǎn)品，保證用戶對(duì)的長(zhǎng)期信任。我們對(duì)成功的定義或許與眾不同，我們的目標(biāo)是成為國(guó)內(nèi)用戶二次購買率Z高的試驗(yàn)儀機(jī)，即用戶流失率Z低的企業(yè)。展望未來，鼎力儀器正在以打造基業(yè)長(zhǎng)青百年企業(yè)的發(fā)展目標(biāo)為指導(dǎo)，全面提升內(nèi)部管控，按照專業(yè)化、規(guī)?；⒒?、資本化的發(fā)展策略，持續(xù)發(fā)展。同時(shí)，鼎力儀器不斷致力于與企業(yè)集團(tuán)強(qiáng)強(qiáng)合作，以共創(chuàng)中國(guó)精密儀器行業(yè)的美好明天而不斷努力。

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體積電阻率表面電阻測(cè)試儀本測(cè)試儀特增設(shè)雙窗口同步顯示測(cè)試結(jié)果（電阻率或表面電阻）及測(cè)試條件（電壓或電流）功能固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測(cè)試儀主要由主機(jī)、高壓測(cè)試臺(tái)等部分組成。主機(jī)主要由高壓電源、數(shù)控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。高壓測(cè)試臺(tái)主要由標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形三電極和連接線等組成

體積電阻率表面電阻測(cè)試儀產(chǎn)品信息

體積電阻率表面電阻測(cè)試儀

LST-121型固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測(cè)試儀是按照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》研制的多用途綜合測(cè)量裝置，它可以測(cè)試固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率，也可單獨(dú)作為超高電阻計(jì)或微弱電流表使用。

本測(cè)試儀特增設(shè)雙窗口同步顯示測(cè)試結(jié)果(電阻率或表面電阻)及測(cè)試條件(電壓或電流)功能

固體絕緣材料體電阻率和表面電阻測(cè)試儀主要由主機(jī)、高壓測(cè)試臺(tái)等部分組成。主機(jī)主要由高壓電源、數(shù)控可編程放大器、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。高壓測(cè)試臺(tái)主要由標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形三電極和連接線等組成！對(duì)于小面積高阻薄膜類樣品方阻測(cè)試可以選配LST-121-F02型方阻探頭。體積電阻率表面電阻測(cè)試儀

儀器所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校功能；可自動(dòng)/手動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量簡(jiǎn)便、讀數(shù)方便等特點(diǎn)。

本儀器適用于防靜電產(chǎn)品如防靜電鞋、防靜電塑料橡膠制品、計(jì)算機(jī)房防靜電活動(dòng)地板等電阻值的檢驗(yàn)以及絕緣材料和電子電器產(chǎn)品的絕緣電阻測(cè)量。微弱電流測(cè)量如光電效應(yīng)和器件暗電流測(cè)量.

二、技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍、分辨率

測(cè)試電壓范圍U_X: 0.1V ～500V.

電阻測(cè)試范圍R_X: 1×10²Ω ～5×10¹³Ω，分辨率1/2000,

電流測(cè)試范圍I_X: 1.5× 10^-³A ～ 10× 10^-12A,分辨率1/2000。

體電阻率試范圍ρ_V: F_V×10²Ω-cm ～F_V×10¹²Ω-cm，F(xiàn)_V體電阻率修正系數(shù)1～99,默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)三電極F_V=23.76cm/h

表面電阻率測(cè)試范圍ρ_S: F_S×10³Ω/□～F_S×10¹⁷Ω/□，F(xiàn)_S表面電阻率修正系數(shù)1～99,默認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)三電極F_S=34.55 lst-121 LST-121

2. 電阻量程劃分（電阻率要乘以相應(yīng)修正系數(shù)1～99）、測(cè)試條件及誤差等級(jí)

序號(hào)	量程	有效測(cè)量范圍	測(cè)試電壓	測(cè)試電流	誤差
1	10³Ω-cm/□	0.100～1.000	1.00V	1.000～0.100 mA	±5% FSB
2	10³Ω-cm/□	01.00～10.00	10.0V	1.000～0.100 mA	±3% FSB
3	10³Ω-cm/□	010.0～450.0	100V	1.000～0.100 mA
4	10⁶Ω-cm/□	0.450～4.500	500V	1.000～0.100 mA
5	10⁶Ω-cm/□	04.50～50.00	500V	100.0～010.0μA	±5% FSB
6	10⁶Ω-cm/□	050.0～500.0	500V	10.00～1.00μA
7	10⁹Ω-cm/□	0.500～5.000	500V	1.000～0.100μA
8	10⁹Ω-cm/□	05.00～50.00	500V	100.0～010.0 nA	±8%FSB
9	10⁹Ω-cm/□	050.0～500.0	500V	10.00～01.00 nA
10	10¹²Ω-cm/□	0.500～5.000	500V	1.000～0.100 nA
11	10¹²Ω-cm/□	05.00～50.00	500V	100.0～010.0 pA	±10%FSB
					±10%FSB

3. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸（以標(biāo)準(zhǔn)電極為）

直徑：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式寬(W)×長(zhǎng)(L)≥90mm×90mm，或直徑 Φ≥90mm

厚度：測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式厚度d≤2.5mm,

4. 電源：

功耗：主機(jī)< 15W

輸入: 220V±10% 50Hz

5. 本儀器工作條件為：

溫度： 0～35℃

相對(duì)濕度： ≤60%

工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾，不與高頻設(shè)備共用電源。

6. 外形尺寸：

主機(jī)： 320mm（長(zhǎng)）×320 mm（寬）×135mm（高）

高壓測(cè)試臺(tái)： Φ=100mm（底座直徑）×80 mm（高）

三、工作原理

1. 測(cè)試原理：體電阻率和表面電阻率測(cè)試原理簡(jiǎn)介如下：

注：詳細(xì)原理請(qǐng)參照國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 1410-2006/IEC 60093:1980：《固體絕緣材料體電阻率和表面電阻率試驗(yàn)方法》

[1]體電阻率表面電阻率測(cè)量基本原理圖：

如下圖1 固體絕緣材料電阻率測(cè)試原理圖

[2]體電阻率表面電阻率測(cè)量常用電極示意圖：

如下圖2 標(biāo)準(zhǔn)平板樣品測(cè)試電極原理圖

如下圖3 標(biāo)準(zhǔn)管狀樣品測(cè)試電極原理圖

[3]體電阻率表面電阻率測(cè)量計(jì)算公式：

[4]體電阻率表面電阻率測(cè)量重復(fù)性：

[5]體電阻率表面電阻率測(cè)量測(cè)試報(bào)告注意點(diǎn)：

[6]體電阻率表面電阻率測(cè)量快捷方式--標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試電極時(shí)的修正系數(shù)：

當(dāng)測(cè)試樣品形狀和測(cè)試電極形式確定時(shí)，則樣品體電阻率或表面電阻率與體電阻的換算系數(shù)就是常數(shù)。本儀器不但可以直接測(cè)試顯示測(cè)試電壓測(cè)試電流值，還可以設(shè)定相應(yīng)換算系數(shù)值，就可以直接顯示樣品體電阻率或表面電阻率值。下是本機(jī)配備的測(cè)試三電極參數(shù)和測(cè)試樣品體電阻率或表面電阻率對(duì)應(yīng)修正系數(shù)：

注：參照?qǐng)D2，按以下修正系數(shù)，體電阻率終單位為Ω·cm表面電阻率為Ω/□

表3.1 環(huán)形三電極修正系數(shù)

序號(hào)

樣片圖示

基本尺寸參數(shù)

樣品修正系數(shù)F

備注

標(biāo)準(zhǔn)

環(huán)形

三電

極

LST-121-F01

d1= 50.0mm

d2= 60.0mm

d3=80.0mm

d4=90.00

g= 5.0mm

a體電阻測(cè)量

F=1.00

b體電阻率測(cè)試：

FV=A/h=(23.76/h) cm

c表面電阻率測(cè)試：

FS=P/g=34.55

1:標(biāo)準(zhǔn)平板樣品

2:h 樣品厚度cm

（標(biāo)準(zhǔn)配置）

薄膜

方阻

環(huán)形

三電

極

LST-121-F02

d1=3.0mm

d2=7.0mm

d3=9.0mm

d4=忽略

g= 2.0mm

A薄膜方塊電阻率測(cè)試：

FS=P/g=7.85

（選配探頭）

測(cè)試高阻薄膜方塊電阻

2. 電氣原理

LST-121型超高阻微電流測(cè)試儀原理方框圖如圖3.3所示。

圖3.3 LST-121原理方框圖

四、結(jié)構(gòu)特征

主機(jī)為儀器主要電氣部分所在，在其面板結(jié)構(gòu)特征和標(biāo)準(zhǔn)三電極組成如圖4.1所示。

圖4.1 LST-121面板特征和標(biāo)準(zhǔn)三電極組成示意圖

主機(jī)后蓋板設(shè)有交流220V電源插座和保險(xiǎn)絲座以及電源開關(guān)。

五、使用方法

ST2643型超高阻微電流測(cè)試儀能夠測(cè)量普通電阻器或絕緣材料的體電阻R_X（修正系數(shù)1.000），絕緣材料體電阻率ρ_V、表面電阻率ρ_S（后二項(xiàng)需調(diào)整不同的修正系數(shù)），也可用作為微電流測(cè)試儀。

5.1 操作概述

(1) 測(cè)試準(zhǔn)備（以體電阻率或表面電阻率測(cè)試為例）：

主機(jī)電源開關(guān)置于斷開位置，將電源插頭插入具有漏電保護(hù)斷路器的電源插座。打開主機(jī)電源，預(yù)熱半小時(shí)后，投入使用為宜！測(cè)試電極和測(cè)試樣品應(yīng)在測(cè)試前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。

如圖4-1，將測(cè)試臺(tái)的線纜插頭與主機(jī)的輸入插座連接起來，連接方式按照測(cè)試需要電阻率或方阻，參照原理章節(jié)3.1和圖1。將電極與樣品良好接觸，注意三電極中圓柱電極、環(huán)型電極和平板電極要同軸放置，樣品置于平板電極之上和圓柱電極、環(huán)型電極之下，平板電極的絕緣板朝下。

測(cè)試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對(duì)于測(cè)試結(jié)果大于高阻10⁶的再選其它檔。如100V或更高電壓，主要原則就是測(cè)試電流要有3位到4位顯示值。

圖 5-1A 設(shè)定參數(shù) 圖5-1B測(cè)試電流圖5-1C測(cè)試電壓

(2) 參數(shù)設(shè)定：

儀器開機(jī)默認(rèn)狀態(tài)為“設(shè)定” 模式，參照?qǐng)D5.1A LST-121面板示意圖，右窗口右側(cè)“設(shè)定”模式燈亮，通過鍵盤輸入需要的修正系數(shù)。系數(shù)有效范圍為00.01～99.99，,當(dāng)前設(shè)定系數(shù)由右側(cè)窗口顯示。輸入完畢要按“確定”鍵保存。按鍵操作詳見下5.2節(jié)鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說明，儀器默認(rèn)修正系數(shù)（F=1.000）, 對(duì)于儀器所配電極，測(cè)試體電阻率或表面電阻率參照表3.1查取系數(shù)F_V或F_S,對(duì)于其他非標(biāo)準(zhǔn)電極，參照原理章節(jié)3.3計(jì)算F_V或F_S

(3)測(cè)量：

設(shè)定完畢，按“模式”鍵，切換儀器到“測(cè)量”模式（電流或電壓）。按“啟動(dòng)”按鈕，啟動(dòng)高壓并開始測(cè)試，窗口左側(cè)顯示體電阻率或表面電阻率（具體由設(shè)定系數(shù)意思確定），右側(cè)窗口顯示測(cè)試電流或測(cè)試電壓，如圖5-1B圖5-1C，由“模式”按鍵選擇，右側(cè)狀態(tài)指示燈指示。由數(shù)字顯示窗直接讀出測(cè)量結(jié)果。

！ 面板鍵盤詳細(xì)操作規(guī)則請(qǐng)見“鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說明”。

（4）樣品的取出

首先按“停止”按鈕切斷高壓電源！再從儀器面板上UH和UL端拔掉高壓連接線，取出樣品！

5.2.鍵盤輸入與窗口顯示規(guī)則說明（請(qǐng)參見圖4.1 LST-121面板示意圖）

(1) 設(shè)定模式時(shí)鍵盤輸入與顯示規(guī)則

序號(hào)	鍵名	功能描述	對(duì)應(yīng)顯示	備注
1	“模式”	儀器“設(shè)定”和“測(cè)量”模式(“電壓”或“電流”)切換鍵。三者輪流選中【開機(jī)默認(rèn)“設(shè)定”】	“設(shè)定”或“電壓”或“電流”指示燈亮,指示儀器當(dāng)前模式。	儀器只有在“設(shè)定”模式才接受各類參數(shù)設(shè)定，只有在“測(cè)量”模式才測(cè)量參數(shù)。
2	“0”、“1”、“2”……“8”“9”	設(shè)定參數(shù)時(shí)，對(duì)應(yīng)有效數(shù)字0、1、2…9輸入鍵。	窗口共顯示四位有效數(shù)字，閃爍提示當(dāng)前等待輸入位，數(shù)字輸入后,閃爍提示自動(dòng)移至低一位,	參數(shù)設(shè)定開始提示位為左第yi位（gao位）,以后第yi至第四位（di位）循環(huán)提示．
3	“.”	設(shè)定參數(shù)時(shí)小數(shù)點(diǎn)輸入鍵。	輸入時(shí)當(dāng)前已輸入位小數(shù)點(diǎn)亮．	數(shù)據(jù)返回顯示時(shí)，定點(diǎn)在當(dāng)中“.”位。注意數(shù)據(jù)輸入有效范圍。
4	“取消”	當(dāng)前已輸入位取消，當(dāng)前等待輸入位向高（左）退一位，	閃爍提示向高（左）退一位,
5	“確認(rèn)”	當(dāng)前參數(shù)設(shè)定完畢（有效數(shù)字、小數(shù)點(diǎn)），按該鍵保存設(shè)定值。		參數(shù)設(shè)定完畢不按該鍵，儀器不保存設(shè)定值。退出該設(shè)定后，該項(xiàng)數(shù)據(jù)丟失。
6	其他	不響應(yīng)

(2) 測(cè)量模式時(shí)鍵盤輸入與顯示規(guī)則

序號(hào)	鍵名	功能描述	對(duì)應(yīng)顯示	備注
1	“模式”	儀器“設(shè)定”和“測(cè)量”模式中“電壓”或“電流”切換鍵。三者輪流選中【開機(jī)默認(rèn)設(shè)定】	“設(shè)定”或“電壓”或“電流”指示燈亮,指示儀器當(dāng)前模式。	儀器只有在“設(shè)定”模式才接受各類參數(shù)設(shè)定，只有在“測(cè)量”模式才測(cè)量參數(shù)。
2	“A/H”	當(dāng)前測(cè)試電流檔位“自動(dòng)/手動(dòng)”方式切換鍵【開機(jī)默認(rèn)自動(dòng)】	“自動(dòng)”時(shí)，無效 “手動(dòng)”時(shí)才有效	只有測(cè)量模式，此鍵才有效。
3		手動(dòng)方式下，手動(dòng)切換電流量程按鍵，分別為向左（大）向右（小）功能。	切換后，對(duì)應(yīng)量程指示燈和小數(shù)點(diǎn)作相應(yīng)改變！	只有測(cè)量模式，在手動(dòng)方式，手動(dòng)切換按鍵才有效
4	其他	不響應(yīng)

5.3.兩端子電阻器體電阻測(cè)試操作：

對(duì)于兩端子電阻器體電阻R_X測(cè)量，利用“UH”作高壓輸出，經(jīng)電阻器，再由“I_i”端輸入構(gòu)成測(cè)試回路，“UL”端不用。

5.4.作為微電流表的測(cè)試操作：

對(duì)于單獨(dú)作為微電流表的測(cè)量操作，利用“I_i”作電流輸入端，經(jīng)儀器，再由“UL”端輸出構(gòu)成測(cè)試回路，“UH”端不用。

5.5.作為小型薄膜方阻的測(cè)試操作：（選配LST-121-F02小型薄膜方阻測(cè)試探頭）

如左圖5-2，對(duì)于外形尺寸較小10mmX10mm以下的高阻薄膜，測(cè)試方阻，ST2254-F01型標(biāo)準(zhǔn)電極因尺寸較大不好測(cè)試，可以選用小型LST-121-F02型環(huán)形電極探頭。

薄膜測(cè)試注意點(diǎn)，首先測(cè)試電壓盡量選用50V，高阻需要才選500V。特別是不可高壓未關(guān)閉就進(jìn)行探頭升降操作，這樣會(huì)在電極和薄膜接觸未穩(wěn)狀態(tài)時(shí)打火，灼傷或燒壞薄膜，引起測(cè)試不準(zhǔn)甚至測(cè)試不出數(shù)據(jù)！如圖所示。

圖5-2 LST-121-F02環(huán)形探頭

六.高壓高阻測(cè)試操作注意點(diǎn)：

高壓高阻測(cè)量一定要嚴(yán)格按使用方法步聚進(jìn)行，否則有可能造成儀器損壞或電人。

6.1 禁止將“Rx”兩端短路，

以免微電流放大器受大電流沖擊損壞

6.2 在測(cè)試過程中不要隨意改動(dòng)測(cè)量電壓。

隨意改動(dòng)測(cè)量電壓可能因電壓的過高或電流過大損壞被測(cè)試器件或測(cè)試儀器，而且有的材料是非線性的，即大范圍內(nèi)電壓與電流是不符合歐姆定律，有改變電壓時(shí)由于電流不是線性變化，所以測(cè)量的電阻也會(huì)變化。測(cè)試電壓量程選擇，一般選先選50V檔，對(duì)于測(cè)試結(jié)果大于高阻10¹⁰的再選500V檔。再電壓檔位切換時(shí)，應(yīng)該先關(guān)閉高壓。

6.3 測(cè)量時(shí)從低次檔逐漸拔往高次檔

測(cè)量時(shí)盡量用手動(dòng)方式，從低檔位逐漸拔往高檔，每撥一次稍停留至少1～2秒以使觀察顯示數(shù)字，當(dāng)被測(cè)體電阻大于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“”，表示超量程，當(dāng)被測(cè)體電阻小于儀器測(cè)量量程時(shí)，電阻表顯示“”，表示欠量程，儀器超或欠量程時(shí)，量程指示燈和顯示數(shù)據(jù)會(huì)閃爍。此時(shí)應(yīng)繼續(xù)將儀器撥到量程更高或更低的位置，當(dāng)儀器測(cè)量量程合適時(shí)，便停止閃爍，穩(wěn)定顯示數(shù)據(jù)，當(dāng)前的數(shù)字乘以檔位指示數(shù)量級(jí)指數(shù)即是被測(cè)值。當(dāng)有穩(wěn)定顯示數(shù)字時(shí)不要再往更高次檔撥，否測(cè)儀器會(huì)過量程，機(jī)內(nèi)保護(hù)電路開始工作，超或欠量程儀器測(cè)量準(zhǔn)確度會(huì)下降。!