100,200和300amu
優(yōu)于1amu的分辨率
5*10e-14 Torr探測(cè)極限
含四極探頭,電子控制單元(ECU)
實(shí)時(shí)window視窗 軟件包,用于數(shù)據(jù)采集和分析,以及探針控制
RS232接口
SRS的殘余氣體分析儀提供的性能和價(jià)值。 這些RGA是同類產(chǎn)品中價(jià)格的一半。 每個(gè)RGA的系統(tǒng)有完成一個(gè)四極探頭,電子控制單元(ECU),以及實(shí)時(shí)window視窗 軟件包,用于數(shù)據(jù)采集和分析,以及探針控制。
堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)
探頭由一個(gè)離子發(fā)生器,四極桿質(zhì)量過(guò)濾器和檢測(cè)器。 簡(jiǎn)單的設(shè)計(jì)有一個(gè)小的部件數(shù)目減少氣體釋放,降低了您的真空系統(tǒng)中引入雜質(zhì)的機(jī)會(huì)。 探頭大會(huì)崎嶇到一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的2.75英寸的CF卡法蘭坐騎。 它是覆蓋著不銹鋼管與電離化的要求只有2英寸半的清理您的真空系統(tǒng)的異常,大約是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的離子規(guī)。 探頭設(shè)計(jì)采用自動(dòng)調(diào)心,因此可以很容易地清洗后重新組裝零件。
緊湊型電子控制單元
用于控制的RGA頭所有必需的電子元件。 它是由外部+24 VDC的要么是(2.5)電源供應(yīng)器或一個(gè)可選,內(nèi)置電源模塊,插入交流電源插座的插頭。 LED指示燈,提供有關(guān)電子倍增器,長(zhǎng)絲,電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時(shí)反饋。 歐洲貨幣單位可以很容易地刪除從高溫bakeouts探頭。
的燈絲設(shè)計(jì)
長(zhǎng)壽命,雙涂釷銥(芹苴2 / IR)的長(zhǎng)絲用于電子發(fā)射。 雙壽2 /銥絲持續(xù)更長(zhǎng)的時(shí)間比單絲,限度地更換燈絲之間的時(shí)間。 不像其他的設(shè)計(jì),SRS的細(xì)絲可以取代在幾分鐘之內(nèi)的用戶。
電子倍增器
法拉第杯探測(cè)器系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)與SRS RGA的,允許從10 -5分壓測(cè)量,以5 × 10 -11托。 為了提高靈敏度和更快的掃描速率,可選的電子倍增器是所提供的檢測(cè)分壓下降到5 × 10 -14托。 這個(gè)國(guó)家的的宏觀多通道連續(xù)打拿極電子倍增器(CDEM)提供了更高的壽命和穩(wěn)定性,也可以由用戶一個(gè)個(gè)RGA更換!
實(shí)用功能
所有的RGA有一個(gè)內(nèi)置的脫氣功能。 利用電子碰撞解吸,離子源是清洗,大大減少了靜電消除器的背景噪聲的貢獻(xiàn)。
一個(gè)固件驅(qū)動(dòng)的燈絲保護(hù)功能的不斷監(jiān)視(675赫茲)以上的壓力。 如果檢測(cè)到過(guò)壓,燈絲會(huì)立即關(guān)閉,保留其壽命。
一個(gè)的溫度補(bǔ)償,對(duì)數(shù)靜電檢測(cè)10 -15 -7到10安培的電流從一個(gè)單離子掃描精度優(yōu)于2%。 這個(gè)巨大的動(dòng)態(tài)范圍意味著你可以利用小型和大型氣體濃度測(cè)量同時(shí)進(jìn)行。
完成可編程
與計(jì)算機(jī)通信是由通過(guò)RS-232接口。模擬和直方圖(條)掃描,泄漏檢測(cè)和探頭參數(shù)控制和監(jiān)測(cè)都通過(guò)高層次的命令集。 這使得易于集成到現(xiàn)有的方案。
RGA的Windows軟件
支持的RGA系統(tǒng)與實(shí)時(shí)視窗 軟件運(yùn)行在PC上。 直觀的圖形用戶界面允許測(cè)量,作出迅速和容易。 該方案是互動(dòng),讓用戶對(duì)圖形顯示的控制。 屏幕可以為雙模式操作分割,規(guī)??梢栽O(shè)置為線性或日志格式,數(shù)據(jù)可以手動(dòng)或自動(dòng)縮放。 數(shù)據(jù)捕獲和實(shí)時(shí)顯示或收購(gòu)安排在長(zhǎng)期測(cè)井資料給定的時(shí)間間隔。 其功能包括用戶可選的單位(托,毫巴,扒和A),可編程的音頻和視覺(jué)警報(bào)和全面的在線幫助。
該軟件還允許完成RGA的大規(guī)模調(diào)整,方便,靈敏度校準(zhǔn),電離設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)節(jié)頭部控制。 進(jìn)一步分析,數(shù)據(jù)文件可以以ASCII格式保存到電子表格更容易轉(zhuǎn)移。 圖形圖像可以被保存為元文件或復(fù)制到剪貼簿,直接導(dǎo)入到其他Windows 方案。 該軟件還提供了鎖定了頭參數(shù),使普通用戶無(wú)法改變重要設(shè)置密碼保護(hù)。 一個(gè)LabVIEW的dirver也可在網(wǎng)站的SRS。 一個(gè)可選的獨(dú)立顯示器( PPM100 )可以用來(lái)控制電腦主機(jī)的RGA沒(méi)有。
多頭操作
該軟件支持多種操作時(shí)頭部多個(gè)RGA的需要。 多達(dá)八個(gè)歐洲貨幣單位,可以從軟件監(jiān)控。
性能和價(jià)值
該家族是個(gè)RGA的SRS涉及氣體分析,泄漏檢測(cè),真空處理應(yīng)用的理想選擇。 我們提供,200和300,100RGA系統(tǒng),支持Windows的軟件和選項(xiàng),其中包括一個(gè)電子倍增器和一個(gè)內(nèi)置電源模塊,AC線運(yùn)行。
產(chǎn)品規(guī)格:
操作
質(zhì)量范圍
RGA100 1 to 100 amu
RGA200 1 to 200 amu
RGA300 1 to 300 amu
質(zhì)量濾波器類型 四極桿
探測(cè)器類型 法拉第杯(FC)—標(biāo)準(zhǔn),電子倍增器 (EM)—可選
分辨率 Better than 0.5 amu @ 10 % peak height (per AVS std. 2.3).
靈敏度(A/Torr) 2 × 10-4 (FC), <200 (EM). User adjustable throughout high voltage range. Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy, 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
最小可檢測(cè)分壓 5 × 10-11 Torr (FC). 5 × 10-14 Torr (EM). Measured with N2 @ 28 amu with 1 amu full peak width, 10 % height, 70 eV electron energy , 12 eV ion energy, and 1 mA electron emission current.
工作壓力 10-4 Torr to UHV (FC)
10-6 Torr to UHV (EM)
工作溫度 70 °C
焙烤溫度 300 °C (without ECU)
電離源
布局 Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization.
材料 SS304 構(gòu)造
燈絲 Thoriated-iridium (dual) with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up. Field replaceable.
電子能量 25 to 105 V, programmable
離子能量 8 or 12 V, programmable
聚焦電壓 0 to 150 V, programmable
電子發(fā)射電流 0 to 3.5 mA, programmable
一般
探頭尺寸 8.75" from flange face to top of ionizer
探頭直徑 2.0"
探頭法蘭尺寸 2.75" CF
最小管徑 1.375"
ECU尺寸 3.1" × 4.1" × 9.1" (WHD). Easily separated from the probe for bakeout.
LED指示燈 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-232 Busy, Error,Overpressur,ility ±0.1 amu after 30 minutes
電腦接口 RS-232C, baud with highlevel command set
軟件 Windows based application
電源要求 24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC line operation
重量 6 lbs.
保修 一年(由產(chǎn)品質(zhì)量和工藝問(wèn)題引起)