“*的SEM更為緊湊”
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設(shè)計(jì)，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。
全新開發(fā)的用戶界面和電子光學(xué)系統(tǒng)讓您深切體驗(yàn)其高性能。
特點(diǎn)
? 緊湊型設(shè)計(jì)，分辨率為4 nm*1
? 通過高靈敏度二次電子探測(cè)器，背散射探測(cè)器，低真空探測(cè)器(UVD*2)，實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
? 操作簡(jiǎn)捷，即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
? 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
? 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng)，便于快速分析元素成分*2
*1設(shè)置在桌面時(shí)，分離主機(jī)和電源箱
*2選配
規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | |
|---|---|---|
| FlexSEM 1000 | FlexSEM 1000 II | |
| 分辨率*3 | 4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式） | |
| 加速電壓 | 0.3 kV～20 kV | |
| 倍率 | ×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率） | |
| 低真空設(shè)置 | 6～100 Pa | |
| 電子槍 | 集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament） | |
| 樣品臺(tái) | 3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) X：0～40 mm、Y：0～50 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° | 3軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° |
| 樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| 樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 機(jī)體：450（寬度）×640（進(jìn)深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進(jìn)深）×450（高度） mm | |
| 選項(xiàng) |
|
|
| 軟件 | Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能） | Multi Zigzag（連續(xù)視野圖像導(dǎo)入功能） |
- *3
- 機(jī)體和電源盒連接時(shí)候
- *
- PC、桌子、監(jiān)控器由客戶準(zhǔn)備
