1.概述 |
1-1風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元
風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元（FFU）是一種自帶動(dòng)力、具有過(guò)濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。
風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過(guò)濾，過(guò)濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s±20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。
●使用環(huán)境
?周?chē)鷾囟龋?℃～40℃
?濕度：低于85%RH(沒(méi)有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)
?周?chē)諝猓阂话闶覂?nèi)空氣
?清凈度：100-10級(jí)
?請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機(jī)體
如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組，將會(huì)影響制品性能，并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。
為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元請(qǐng)參閱第4頁(yè)的〝重要安全事項(xiàng)〞。
(2) 表1. 部件明稱及功能(參考圖1)
No. | 部 品 名 稱 | 功 用 | 備 注 |
1 | 初效濾網(wǎng) | 可有效攔截粒徑≥5um的灰塵 |
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2 | 外殼 | 設(shè)備外殼 | 可選優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料 |
3 | 把手 | 方便搬運(yùn) |
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4 | 吊環(huán) | 機(jī)體吊裝 | 選配件 |
5 | 導(dǎo)流消聲裝置 | 引導(dǎo)氣流及消除噪聲 |
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6 | 風(fēng)機(jī)系統(tǒng) | 為設(shè)備提供動(dòng)力 | 風(fēng)機(jī)可選國(guó)產(chǎn)/中國(guó)臺(tái)灣/新加坡/德國(guó) |
7 | 高效濾網(wǎng) | 可過(guò)濾微小粒徑的灰塵 效率99.99%@ 0. 3um | 可選各種效率的濾網(wǎng) |
8 | 控制系統(tǒng) | 調(diào)速及開(kāi)關(guān)電源 |
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2.重要安全事項(xiàng) |
不當(dāng)使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元組將會(huì)造成制品性能降低，使用時(shí)請(qǐng)務(wù)必遵守下列事項(xiàng)：
2-1 安裝使用環(huán)境
●風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。
● 設(shè)置風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元場(chǎng)所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。
● 請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。
● 請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品，如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。
2-2 運(yùn)送與安裝
● 請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品，搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車(chē)等工具運(yùn)送時(shí)，請(qǐng)選用車(chē)臺(tái)超過(guò)機(jī)體包裝寬度的推車(chē)。
● 機(jī)體安裝后，機(jī)體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間，以利將來(lái)機(jī)體維修，未預(yù)留足夠的維修空間，機(jī)體將無(wú)法進(jìn)行維修及部件更換。
● 試運(yùn)轉(zhuǎn)前，請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。
2-3 安裝?使用注意事項(xiàng)
●風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元安裝于無(wú)塵室時(shí)，請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示
?當(dāng)進(jìn)入無(wú)塵室時(shí)
請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。
點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。
● 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元機(jī)體，以免造成機(jī)體變形。
● 請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體，以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。
● 請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口，機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽，將導(dǎo)致機(jī)體性能無(wú)法正常發(fā)揮，造成機(jī)體功能異常或電氣部件損壞。
● 實(shí)施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。
3.安裝使用 |
3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)
運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng)：
● 機(jī)體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。
● 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。
● 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。
3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)
(1) 開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)
● 當(dāng)電源開(kāi)啟后，機(jī)體即開(kāi)始運(yùn)轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異?，F(xiàn)象。
當(dāng)有下列情形發(fā)生，機(jī)體無(wú)法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，請(qǐng)向經(jīng)銷(xiāo)服務(wù)人員反映。
● 機(jī)體內(nèi)部有異物，機(jī)體離心風(fēng)扇無(wú)法正常旋轉(zhuǎn)。
● 機(jī)體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。
● 機(jī)體內(nèi)部電氣部件，如過(guò)電源插頭、馬達(dá)損壞。
(2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn)
● 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，請(qǐng)即切斷電源，停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。
NO. | 點(diǎn)檢專案 | 判斷標(biāo)準(zhǔn) |
1 | 離心風(fēng)扇及馬達(dá) | ?離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順，沒(méi)有產(chǎn)生異常聲音，若聽(tīng)到異常聲音，請(qǐng)確認(rèn)送風(fēng)機(jī)內(nèi)有無(wú)異物以及馬達(dá)軸承的聲音是否異常，若馬達(dá)有問(wèn)題，請(qǐng)更換馬達(dá)。 |
2 | 濾網(wǎng) | ?濾網(wǎng)表面有無(wú)損傷、污點(diǎn)、骯臟….等 |
3 | 機(jī)體外觀 | ?機(jī)體外觀有無(wú)損傷 |
4-2定期維護(hù)
使用風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元一段時(shí)間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。
4-2.1定期維護(hù)
(1)定期維護(hù)項(xiàng)目
請(qǐng)依表3.所示，對(duì)風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢，當(dāng)部件壽命已至?xí)r，請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。
(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊…..等)或化學(xué)藥品的泄漏(腐蝕氣體…..等)意外發(fā)生，停機(jī)再啟動(dòng)后，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。
表3. 定期維護(hù)項(xiàng)目
部件位置 | 征兆及可能原因 | 評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，確認(rèn)點(diǎn) | 檢查頻率 | 部件壽命 |
馬達(dá) | (1)軸承損壞而使馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)不平順或死鎖。 (2)絕緣不良造成過(guò)熱、過(guò)載導(dǎo)致線圈燒損。 (3)電源連接或端子的絕緣不良，而造成異常發(fā)熱、接地錯(cuò)誤、層間短路…..等。 | ?確認(rèn)馬達(dá)有無(wú)異音、振動(dòng)及味道，用耳朵確認(rèn)軸承有無(wú)異常聲音。 ?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?檢查電纜線及端子有無(wú)破損或銹蝕，更換不良部件。 | 一年一次 | 5年以上 |
離心風(fēng)扇 | (1)因灰塵迭積或破損使得運(yùn)轉(zhuǎn)不平衡而損壞。 | ?檢查離心風(fēng)扇有無(wú)異音、振動(dòng)及破損，更換不良部件。 | 一年一次 | 5年 |
其它的電氣部件及配線材料 | (1)絕緣不良，端子螺絲松脫而造成過(guò)熱、短路或燒損。 (2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。 | ?檢查有無(wú)過(guò)熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體，配線表皮破損…..等。 ?絕緣阻抗須大于5MΩ以上。 ?鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。 | 一年一次 | 5年 |
濾網(wǎng) | (1)因阻塞而造成風(fēng)速減低。 (2)因化學(xué)藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。 (3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。 | ?目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無(wú)刮傷、褪色、變形。 ?檢查泄漏更換不良部件。 | 一年一次 | (視不同使用場(chǎng)所需要而定) |
外箱 及其它組件 | 因化學(xué)藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。
| ?目視檢查部件有無(wú)不良、褪色….等。 | 一年一次 | 其它部件8年 |
表4消耗性部件的更換期間( 我司建議)
部 品 | 更 換 期 間 |
濾網(wǎng) | 1-2年(室內(nèi)清凈度100,000級(jí)的場(chǎng)所) 注 |
初效濾網(wǎng) | 每3個(gè)月(不同場(chǎng)所而有所區(qū)別) |
馬達(dá) | 5年以上 |
注：濾網(wǎng)更換期間會(huì)因不同使用場(chǎng)所的差異而有所不同。
4.2.2點(diǎn)檢完成
點(diǎn)檢完成后，清潔工作場(chǎng)所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況；保留點(diǎn)檢報(bào)告，當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。
4-3故障排除
?若有以下現(xiàn)象發(fā)生，連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì))，然后慎重的調(diào)查問(wèn)題的起因及采取適合的改善措施。
附錄 |
易損件規(guī)格表：
序號(hào) | 名稱 | 規(guī)格型號(hào) | 單位 | 單臺(tái)數(shù) | 備注 |
1 | 風(fēng)機(jī) | PCI風(fēng)機(jī) | 臺(tái) | 1 | 保修期:一年 |
2 | 電容 | 5uf,500V | 只 | 1 |
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3 | 玻纖無(wú)隔板過(guò)濾器 |
| 個(gè) | 1 | 99.99%@o.3um |
4 | 初效過(guò)濾器 |
| 個(gè) | 1 | 可清洗 |
● 當(dāng)需要更換服務(wù)備品時(shí)，請(qǐng)務(wù)必依本說(shuō)明書(shū)中表1.所列之部件名稱提供予服務(wù)人員。
● 任何未經(jīng)認(rèn)可之代用品，不僅可能會(huì)影響風(fēng)機(jī)過(guò)濾器單元的性能，同時(shí)可能造成火災(zāi)、觸電或其它危險(xiǎn)。
