?M100B/M10MB 質量流量控制器/質量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從10 sccm–50 slm,模擬通訊接口。
?1179A/2179A 橡膠密封質量流量控制器/帶截至閥質量流量控制器,其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm
?1479A/179A 金屬密封質量流量控制器/質量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從10 sccm – 20 slm。
?ALTA™ 1480A/180A 數(shù)字質量流量控制器/質量流量監(jiān)視器,滿量程范圍從10 sccm– 30 slm。各種模擬和數(shù)字(Profibus、DeviceNet)通訊接口可選。
?ALTA™ MC20A 數(shù)字質量流量控制器,滿量程范圍從20 – 200 slm。模擬和DeviceNet通訊接口可選。
?1559A/558A 大流量質量流量控制器/質量流量監(jiān)視器,其滿量程范圍從20– 200 slm,模擬通訊接口。