SuperViewW1光學(xué)輪廓儀檢測儀器測量單個(gè)精密器件的過程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測,具有測量精度高、操作便捷、功能全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)。它特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。而其雙重防撞保護(hù)措施能更好的保護(hù)儀器,確保精度的準(zhǔn)確。
(1)軟件防撞保護(hù)ZSTOP
即在Z軸上設(shè)置停止位,設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí),就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng),起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。
(2)Z軸硬件防撞傳感器
在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),觸發(fā)感應(yīng)器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應(yīng)向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護(hù)。
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀檢測儀器基于白光干涉原理,不僅用于零件的檢測,還是一種在生產(chǎn)中用于檢測軋制產(chǎn)品表面缺陷的設(shè)備,能完成缺陷尺寸的在線檢測。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。
應(yīng)用