產(chǎn)品功能:
光學(xué)元件表面的三維面型測(cè)量、 面型逆向和面型輪廓精度質(zhì)量評(píng)價(jià)
檢測(cè)對(duì)象:
自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、 玻璃面板、透鏡、精密模具、 晶圓硅片等
面向行業(yè):
HUD、AR、精密光學(xué)及 3D 曲面 玻璃等領(lǐng)域生產(chǎn)企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)
技術(shù)特點(diǎn):
1、自由曲面反射鏡及其它光學(xué)元件表面的光學(xué)非接觸、全場(chǎng) 3D 輪廓測(cè)量。
2、測(cè)量過程簡單,無需精密調(diào)整樣品姿態(tài), 單件測(cè)量時(shí)間一般小于 20 秒;檢測(cè)效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于三坐標(biāo)和UA3P 等接觸式三維檢測(cè)設(shè)備,適合用于自由曲面光學(xué)面的全檢。
3、基于 CAD 模型或者方程式的三維面型數(shù)據(jù)比對(duì)分析,可自動(dòng)完成面型質(zhì)量評(píng)價(jià),輸出信息完善:包含完善的 3D 誤差分布圖、上下公差比例計(jì)算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。
4、完備的擬合分析:xy 多項(xiàng)式、Zernike、Legendre 擬合分析,可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。
5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能:可以分析麻點(diǎn),劃痕,刀紋,流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷??梢蕴峁┌祱?chǎng)缺陷分析。可以根據(jù)用戶需求開發(fā)統(tǒng)計(jì)功能。
6、豐富的線性尺寸分析功能,可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸,并輸出報(bào)告。
7.單點(diǎn)車刀痕紋理誤差的三維定量分析,用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點(diǎn)車反射鏡面型誤差測(cè)量結(jié)果(和激光干涉儀比較)PV=0.45um
8完善的測(cè)量輸出功能(測(cè)量原始數(shù)據(jù)輸出、可訂制化檢測(cè)報(bào)告輸出以及 Log 統(tǒng)計(jì)文件輸出),可根據(jù)用戶需求訂制輸出報(bào)告的內(nèi)容格式。
技術(shù)參數(shù)
技術(shù)參數(shù):
測(cè) 量 模 塊 | 技 術(shù) 指 標(biāo) |
1、光學(xué)自由曲面三維面型檢測(cè)系統(tǒng)(標(biāo)準(zhǔn)模式) 標(biāo)準(zhǔn)模塊 特點(diǎn):大視場(chǎng),適應(yīng)大多數(shù)反射鏡零件測(cè)量 | 測(cè)量視場(chǎng):400x250mm 橫向采樣分辨率達(dá)到 0.2mm 光學(xué)面型數(shù)據(jù)單次測(cè)量不確定度: +/-2um, 樣品傾角范圍+/-15 度 |
包含研究型檢測(cè)功能和一鍵式檢測(cè)功能 | |
2、高分辨測(cè)量模式,鏡面三維檢測(cè) 標(biāo)準(zhǔn)模塊 特點(diǎn): 高橫向分辨率、較高陡度、適合較大陡度和凸面測(cè)量 | 高分辨測(cè)量模式技術(shù)參數(shù): 測(cè)量視場(chǎng): 300mmx150mm 橫向采樣可達(dá) 0.05mm 光學(xué)面型單次測(cè)量不確定度: +/-2um |
陡度范圍+/-30 度 | |
3、結(jié)構(gòu)光測(cè)量模式,漫反射表面三維檢測(cè) 可選購,集成于模塊1中 特點(diǎn):鏡面噴粉測(cè)量、漫反射表面檢測(cè)、夾具檢測(cè) | 結(jié)構(gòu)光漫射表面三維測(cè)量技術(shù)參數(shù): 單次測(cè)量區(qū)域:150mmX150mmX50mm(可拼接) |
測(cè)量精度 0.01mm | |
4、在線型測(cè)量模式 可根據(jù)用戶需求定制 | 一鍵式三維面型測(cè)量及誤差分析(一般周期 40s 內(nèi)) 流水線式檢測(cè) |
可根據(jù)用戶需求開發(fā)協(xié)作機(jī)械臂輔助無人化自動(dòng)檢測(cè) |