XYZ真空位移臺是為真空環(huán)境下三維位移和三維定位設(shè)計的三軸真空位移臺,采用微米驅(qū)動螺釘實現(xiàn)高靈敏度,在XYZ軸的移動范圍是15mm,具有非真空XYZ位移臺供選擇。
XYZ真空位移臺配置
公制7T38V XYZ真空位移臺配置:7T38V-3件, 2AB38V-1 件, 3P38V, 3CP38V, 3BP38V.
英制7T38EV XYZ真空位移臺臺配置:7T38EV-3 件, 2AB38V-1件, 3P38EV, 3CP38V, 3BP38V.
XYZ真空位移臺規(guī)格
移動范圍 15mm
靈敏度 1µM
跟蹤精度 2µM
刻度步進(jìn) 10µm
負(fù)載能力 5kg
重量 1.35kg
XYZ真空位移臺配置
公制7T38V XYZ真空位移臺配置:7T38V-3件, 2AB38V-1 件, 3P38V, 3CP38V, 3BP38V.
英制7T38EV XYZ真空位移臺臺配置:7T38EV-3 件, 2AB38V-1件, 3P38EV, 3CP38V, 3BP38V.
XYZ真空位移臺規(guī)格
移動范圍 15mm
靈敏度 1µM
跟蹤精度 2µM
刻度步進(jìn) 10µm
負(fù)載能力 5kg
重量 1.35kg