thermocera納米CVD石墨烯/碳納米管合成器
? 型號(hào)。 納米CVD-8G（用于石墨烯合成）
?型號(hào)。 納米CVD-8N（用于碳納米管）
每批僅需 1 分鐘，可輕松合成高質(zhì)量石墨烯和碳納米管
CVD（化學(xué)氣相沉積）
CVD法是一種穩(wěn)定的技術(shù)，已經(jīng)建立了多種用途，它是未來(lái)大規(guī)模合成石墨烯和碳納米管的最現(xiàn)實(shí)的方法，因此我們?cè)谶@臺(tái)機(jī)器中采用了CVD方法。 制造商Moorfield與英國(guó)國(guó)家研究所合作，多次驗(yàn)證了這種薄膜沉積實(shí)驗(yàn)裝置。 在與研究機(jī)構(gòu)的合作下，已經(jīng)驗(yàn)證了使用拉曼光譜，SEM，AFM等分析數(shù)據(jù)可以制備高質(zhì)量的石墨烯和CNT樣品。
冷壁CVD
采用冷壁/高溫樣品加熱臺(tái)（熱板），反應(yīng)快，重現(xiàn)性好。 設(shè)備小型化，加工時(shí)間縮短，可操作性強(qiáng)，可創(chuàng)建并存儲(chǔ)30種合成配方。 除了標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)配置外，還可以根據(jù)要求定制設(shè)備配置。 nanoCVD系統(tǒng)是一種實(shí)驗(yàn)裝置，盡管體積小，但具有為基礎(chǔ)研究和開發(fā)領(lǐng)域做出貢獻(xiàn)的無(wú)限潛力。
特征
無(wú)需使用大型設(shè)備即可輕松進(jìn)行石墨烯碳納米管 （SWNT） 沉積實(shí)驗(yàn)
1批次只需30分鐘！
冷壁式高效高精度過(guò)程控制
快速升溫：室溫→1100°C約3分鐘
高性能機(jī)器，具有高精度的溫度流量控制和出色的可重復(fù)性
操作簡(jiǎn)單！ 通過(guò) 5 英寸觸摸屏進(jìn)行操作和配方管理
最多可創(chuàng)建和保存 30 個(gè)配方和 30 步合成程序。
標(biāo)配專用軟件，數(shù)據(jù)記錄為輸出PC上的CSV文件
USB電纜連接，PC端的配方創(chuàng)建→上傳到設(shè)備
主要規(guī)格
A. 主要規(guī)格
| 1. 反應(yīng)室 | 不銹鋼SUS304泄漏檢查 |
|---|---|
| 2. 加熱階段 | 陶瓷 |
| 3. 兼容的樣本量 | 20 x 40毫米 |
| 4. 加熱加熱器 | 高純石墨加熱器MAX1050°C |
| 5. 溫度控制 | 包括K型熱電偶標(biāo)準(zhǔn)（安裝在加熱臺(tái)下方） |
B. 過(guò)程控制設(shè)備規(guī)格
| 1. 氣體控制 | 質(zhì)量流量控制器 x 3 （Ar， H2， CH4） |
|---|---|
| 2. 壓力控制 | 20托爾· |
| 3. 真空抽真空 | 包括愛德華茲旋轉(zhuǎn)泵RV3（3?/小時(shí)） |
| 4. 操作面板 | 前置式 5 英寸觸摸屏 （歐姆龍） |
| 5. 風(fēng)冷 | 通過(guò)冷卻風(fēng)扇對(duì)外殼進(jìn)行內(nèi)部冷卻 |
| 6. 控制系統(tǒng) | PLC自動(dòng)過(guò)程控制 |
C. 軟件（包括標(biāo)準(zhǔn)）
| 1. 納米CVD軟件 | 包括標(biāo)準(zhǔn)（安裝石墨烯的標(biāo)準(zhǔn)程序） |
|---|---|
| 2. 界面 | USB 2.0 連接 |
| 3. 設(shè)置次數(shù) | 最多可以創(chuàng)建和保存 30 個(gè)配方和 30 個(gè)步驟 |
D. 氣體引入連接規(guī)格
| 1. 工藝氣體 | 2 x 4/1 英寸世偉洛克卡套管連接，用于 Ar、H4、CH3 |
|---|---|
| 2. 載氣 | N2 或 AR φ6mm 推鎖管連接 x 1 |
E. 安全裝置
| 1. 過(guò)熱 | 由安裝在加熱臺(tái)上的熱電偶控制 |
|---|---|
| 2. 外殼內(nèi)部過(guò)熱 | 從內(nèi)部溫度開關(guān) |
| 3. 氣壓異常 | 從質(zhì)量流量控制器 |
| 4. 真空減少 | 從真空傳感器 |
F. 公用事業(yè)
| 權(quán)力 | AC200V 單相 50/60Hz 13A |
|---|---|
| 1. 工藝氣體壓力 | 最大 30psi 200sccm |
| 2. 載氣壓力 | 60-80磅/平方英寸 |
G. 尺寸和重量
| 1. 尺寸 | 405毫米（寬） x 415毫米（深） x 280毫米（高） |
|---|---|
| 2. 重量 | 約27公斤 |
