SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀
白光干涉測(cè)量技術(shù)廣泛應(yīng)用于光滑與粗糙表面的三維形貌表征。垂直方向的測(cè)量精度可以達(dá)到納米級(jí)別。 SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀擁有納米級(jí)測(cè)試精度,外接PC或筆記本電腦進(jìn)行實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)分析。 SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀功能全面,輕松應(yīng)對(duì)各種測(cè)試環(huán)境。電動(dòng)XY雙軸樣品臺(tái)匹配自動(dòng)拼接程序,應(yīng)對(duì)大面積測(cè)試任務(wù)。典型應(yīng)用包括科學(xué)研究、質(zhì)量控制和工藝管理。德國(guó)SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀具備如下優(yōu)點(diǎn):
- 通用型
- 精度高
- 測(cè)速快
- 穩(wěn)定可靠
- 自動(dòng)拼接
MountainsMAP表面分析軟件與三維可視化測(cè)量報(bào)告
SmartWLI擴(kuò)展型白光干涉三維輪廓儀技術(shù)參數(shù)
測(cè)量系統(tǒng) | |
量測(cè)原理 | 白光干涉 |
Z軸定位系統(tǒng) | 壓電效應(yīng)調(diào)節(jié)系統(tǒng) |
高度量測(cè)范圍 | 可達(dá)400 μm |
攝像頭參數(shù) | CCD攝像頭;1624x 1234相素 |
干涉物鏡系統(tǒng) | |
放大倍數(shù)MAG 視場(chǎng)范圍FOV (mm) 橫向分辨率 (um) | 2.5 ×, 5 ×, 10 ×, 20 ×, 50 ×, 100 × 4.12 × 3.06 mm2 – 0.103 × 0.076mm2 10.54 μm – 0.55 μm |
光源 | LED |
測(cè)試時(shí)間 | 通常<20秒 |
軟件系統(tǒng) | |
SmartWLI | 基于微軟Win7操作系統(tǒng),64位表面形貌測(cè)量軟件;三維數(shù)據(jù)可通過(guò)接口直接傳輸至MountainsMap分析軟件。 |
MountainsMap | 三維數(shù)據(jù)分析軟件,輪廓及三維影像結(jié)果輸出、測(cè)量數(shù)據(jù)預(yù)處理及后處理、德標(biāo)(DIN)歐標(biāo)( EN) ISO標(biāo)準(zhǔn)粗糙度及高度測(cè)定、串行處理及測(cè)試日志。 |
輸出文件格式 | ASCII, SUR, BCR-STM, BMP, JPEG, TIF |
部分測(cè)試結(jié)果展示
液態(tài)軸承
晶片
鉆石工具
透鏡工具
金屬表面
汽車(chē)車(chē)身表面
粗糙度標(biāo)準(zhǔn)片
發(fā)動(dòng)機(jī)汽缸