DVIA-T使顯微鏡比以往更容易控制亞赫茲振動(dòng)
DVIA-T將超精密儀器與1-10 Hz的環(huán)境振動(dòng)隔離非常有效,振動(dòng)敏感的精密儀器趨于不穩(wěn)定和破壞性,無法產(chǎn)生結(jié)果。 DVIA-T在0.6Hz時(shí)開始隔離,在10Hz時(shí)提供±99%的隔振。
克服了被動(dòng)隔振系統(tǒng)的局限性
由于主動(dòng)隔振系統(tǒng)不具備固有頻率,因此主動(dòng)隔振系統(tǒng)可以降低1-10 Hz的低頻振動(dòng),其中低頻振動(dòng)會(huì)嚴(yán)重干擾納米級成像。 另一方面,無源隔離系統(tǒng)由于其固有頻率而放大低頻振動(dòng)。
超剛性
由于主動(dòng)隔離系統(tǒng)比被動(dòng)隔離系統(tǒng)硬得多,所以隔離基礎(chǔ)平臺(tái)不像被動(dòng)隔離基礎(chǔ)平臺(tái)那樣波動(dòng)。 主動(dòng)隔離系統(tǒng)大大增加了位置的穩(wěn)定性,此外,剛度的改善提供了在平臺(tái)上設(shè)置各種應(yīng)用的穩(wěn)定性。
這很簡單。 只需插入即可
DVIA-T旨在為各種應(yīng)用提供強(qiáng)大的即插即用操作系統(tǒng)。 即插即用系統(tǒng)不需要復(fù)雜的安裝或日常維護(hù),壓縮空氣供應(yīng)。 而且,用戶可以按下按鈕來操作整個(gè)系統(tǒng)。
實(shí)時(shí)監(jiān)控
液晶顯示器允許用戶監(jiān)視實(shí)時(shí)振動(dòng)水平和平整狀態(tài)。
反饋和前饋控制系統(tǒng)
DVIA系列使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負(fù)載基座的振動(dòng),并即時(shí)作出反應(yīng),限度地減少實(shí)時(shí)振動(dòng)。 DVIA系列采用前饋系統(tǒng),以預(yù)定義的方式過濾地板振動(dòng)
控制所有六個(gè)自由度的振動(dòng)
安裝在主動(dòng)隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個(gè)平移運(yùn)動(dòng)(X,Y和Z)以及三個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(俯仰,滾轉(zhuǎn)和偏航)來檢測和控制振動(dòng)。
緊湊,便攜式設(shè)計(jì)
最小尺寸為420 mm×500 mm×93 mm,重量只有25kg,使用戶可以將隔離單元安裝在任何地方。
DAEIL的隔音罩消除了嚴(yán)重干擾超精密儀器的聲學(xué)噪音,例如AFM顯微鏡。 當(dāng)DVIA-T與隔音罩一起封閉時(shí),其隔振性能。
應(yīng)用
原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡、光學(xué)顯微鏡、共聚焦顯微鏡、熒光顯微鏡、高分辨率顯微鏡、微操作、干涉、輪廓、超精密秤、超精密計(jì)量