CX-3/100粗糙度輪廓儀技術參數(shù)：

A/粗糙度測量

1、評定參數(shù)：Ra　Ry　Rz　Rt　Rq　Rp　Rv　Rmax　S　Sm　tp

2、測量范圍：Ra 0.01μm-10μm

3、觸針位移：±500μm

4、分 辯 率：0.001μm

5、示值誤差：≤3%±5nm

B/輪廓測量

1、使用范圍：X:0-100mm　Z:0-450mm

2、測量范圍：X:0-100mm　Z:±3mm（可選配±6mm或±10mm）

3、分 辯 率：0.001μm、0.1μm

4、半經(jīng)誤差：0.1% - 0.8%