technofine沉積裝置 原子層沉積 壓力控制 流量控制TFALD-201
technofine沉積裝置 原子層沉積 壓力控制 流量控制TFALD-201
性能規(guī)格
模型 | SD-20S |
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工作尺寸 | 20 平方毫米 |
最大轉(zhuǎn)速 | 3500轉(zhuǎn) |
界面 | 手動(dòng)控制無級(jí)調(diào)節(jié) |
安全機(jī)制 | 亞克力罩 |
一般規(guī)格
舞臺(tái)材料 | 氟樹脂 |
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階段直徑 | ?90mm |
外形尺寸(寬x深x高) | 160×180×150mm |
重量 | 約4公斤 |
輸入功率 | AC100V 50/60Hz |
公用事業(yè) | - |
配件 | 操作說明 |
選項(xiàng) |
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性能規(guī)格
模型 | SD-20SE |
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工作尺寸 | 20mm方板 |
最大轉(zhuǎn)速 | 4000轉(zhuǎn) |
界面 |
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顯示功能 | 帶背光的液晶顯示器 |
安全機(jī)制 | 亞克力罩 |
功能 |
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集成控制器
最大可用于 ?3 英寸基板
最高轉(zhuǎn)速 3000rpm
最多可同時(shí)處理5張
轉(zhuǎn)速監(jiān)視器
自動(dòng)停止定時(shí)器
加工數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能
性能規(guī)格
模型 | SD-300 |
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工作尺寸 | ?3" 或更小 |
最大轉(zhuǎn)速 | 3000轉(zhuǎn) |
界面 | 觸控面板 |
安全機(jī)制 | 旋轉(zhuǎn)中蓋開閉檢測(cè)停止 |
功能 |
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一般規(guī)格
舞臺(tái)材料 | 氟樹脂 |
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階段直徑 | ?250mm |
外形尺寸(寬x深x高) | 380×380×435mm |
電源電壓 | AC100V 50/60Hz |
公用事業(yè) | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |
配件 |
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性能規(guī)格
模型 | SD-300CS |
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工作尺寸 | ?3" 或更小 |
最大轉(zhuǎn)速 | 3000轉(zhuǎn) |
界面 | 觸控面板 |
安全機(jī)制 | 通過開/關(guān)傳感器自動(dòng)停止功能 |
功能 |
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一般規(guī)格
舞臺(tái)材料 | 氟樹脂 |
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階段直徑 | ?250mm |
外形尺寸(寬x深x高) |
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輸入功率 | AC100V 50/60Hz |
公用事業(yè) | 泄油口 x 1 (Rc1/2) |