otsukael靜態(tài)光散射光度計 照度計SLS-6500HL的介紹
otsukael靜態(tài)光散射光度計 照度計SLS-6500HL的介紹
絕對分子量、慣性半徑和第二維里系數(shù)可以使用靜態(tài)光散射法測量。
可以進(jìn)行 Zimm plot、Berry plot、Zimm square root plot、單一濃度法 plot、Debye plot 等各種分析。
- 確定膠束的總數(shù)。
可選的棒狀樣品池支架可對光纖材料(散裝)進(jìn)行絕對散射強(qiáng)度測量。
產(chǎn)品信息
膜厚測量范圍 1 nm 至 92 μm(SiO 2換算)
薄膜厚度值的高重復(fù)性
每點(diǎn)1秒以內(nèi)的高速測量
圖案可瞄準(zhǔn)微小點(diǎn)(最小Φ3μm)
適用于圖案化晶圓的膜厚測繪
可以獲取用于圖案對齊的圖像
除了可以進(jìn)行高精度薄膜分析的分光橢圓偏光法外,它還通過實(shí)現(xiàn)自動可變測量角度機(jī)構(gòu)來兼容所有類型的薄膜。除了傳統(tǒng)的旋轉(zhuǎn)分析器方法外,還通過為延遲板提供自動安裝/拆卸機(jī)構(gòu)提高了測量精度。 |
可在紫外-可見(300 至 800 nm)波長范圍內(nèi)測量橢圓參數(shù)
能夠分析納米級多層薄膜的膜厚
通過 400 通道或更多通道的多通道光譜快速測量橢圓光譜
支持通過可變反射角測量對薄膜進(jìn)行詳細(xì)分析
通過創(chuàng)建光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫和添加配方注冊功能提高可操作性
橢圓參數(shù)(tanψ,cosΔ)測量
光學(xué)常數(shù)(n:折射率,k:消光系數(shù))分析
膜厚分析
半導(dǎo)體ウェーハ
ゲート酸化薄膜,窒化膜
SiO2,SixOy,SiN,SiON,SiNx,Al2O3,SiNxOy,poly-Si,ZnSe, BPSG,TiN
レジストの光學(xué)定數(shù)(波長分散)化合物半導(dǎo)體
AlxGa(1-x)As 多層膜,アモルファスシリコンFPD
配向膜各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon),超伝導(dǎo)用薄膜,磁気ヘッド薄膜光學(xué)薄膜
TiO2,SiO2,反射防止膜リソグラフィー分野
g線(436nm),h線(405nm),i線(365nm)などの各波長におけるn,k評価