himax紫外線臭氧清洗機(jī) 汞燈144AX的介紹
himax紫外線臭氧清洗機(jī) 汞燈144AX的介紹
該設(shè)備去除有機(jī)化合物污漬,主要是油性污染物。
濕式清潔去除灰塵和污垢后,使用本設(shè)備作為畫龍點(diǎn)睛,
清潔效果更佳。
144AX 型從平面汞燈發(fā)出紫外線。
該照射能量和產(chǎn)生的臭氧用于分解和氧化有機(jī)化合物以去除污垢。
它不會(huì)因熱量或摩擦而損壞工作表面,并有效清潔。無需擔(dān)心污垢和灰塵的再沉積,或有機(jī)化合物的污染。
該設(shè)備擁有比濕式清潔更有效的清潔能力。(*參照下級處理?xiàng)l件表。)
如果在用超純水沖洗前加上輕微清潔,可以去除油基污染膜,也可以通過沖洗去除細(xì)小的附著灰塵。
【什么是接觸角?]
將試劑水滴在清潔過的表面上并評估濕度。在紫外線照射約 30 至 60 秒后,接觸角顯著下降。
4度的接觸角意味著有機(jī)化合物膜小于單個(gè)分子。
除了半導(dǎo)體領(lǐng)域,它還可以應(yīng)用于各種清潔應(yīng)用。
■ 可用于電子材料、液晶、汽車、家電、ETC等。
■ 陶瓷基板、液晶玻璃、陰極射線管、磁頭、鉻膜等的附著力提高和表面改性。
■ 硅片、 GaSa晶圓、透鏡、鏡子、太陽 電池面板等的
清洗、密合性的提高 ■ 切割膠帶密合性的降低(*部分類型的密合性得到改善。)
■ 抗蝕劑硬化、結(jié)冰、殘留物去除的促進(jìn)
■ FPD/PDP的清掃
■ 增加wafer氧化層
■ EPROM和存儲(chǔ)器的中和
■ 各種材料的清洗、附著力改善、氧化增強(qiáng)、固化等■ 生化
滅菌等
可選功能
■ Suprasil UV Lamp(合成石英玻璃紫外燈)
短片的透過率波長184.9nm的紫外線對于標(biāo)準(zhǔn)燈來說是65%,但是這款燈
將90%的臭氧產(chǎn)生率提高了一倍,并且縮短了清洗時(shí)間。
■ 臭氧消除裝置適用于希望避免排氣管排放臭氧的人員(
與排氣裝置組合使用)。
與臭氧消除器組合使用時(shí),無需擔(dān)心臭氧氣味。
■ 多種托盤尺寸可供選擇。(單位:mm)(參考下方托盤尺寸表。)
■ 紫外線照度計(jì)輸入:AC100V 12A
加工條件 | 接觸角 |
未經(jīng)處理的玻璃板 | 26 |
洗滌劑→自來水→碳?xì)淙軇?/span> | 39 |
洗滌劑→自來水→純凈水 | 17 |
洗滌劑 → 自來水 → IPA * | 14 |
臭氧水 | 10度以下 |
洗滌劑→自來水→等離子 | 五 |
洗滌劑 → 自來水 → UVO 清潔劑 | 四 |