分析性能
●表面元素定性、定量分析
能量分析器設(shè)計(jì)和雙晶微聚焦單色化X射線源結(jié)合，實(shí)現(xiàn)了能量分辨率
●快速高分辨平行成像
化學(xué)成像: 空間分辨率優(yōu)于1um
回溯成譜: 回溯區(qū)域優(yōu)于6um
●無需背底修正探測(cè)器
電子倍增器和電阻陽極探測(cè)器的雙探測(cè)器設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)高性能的XPS采譜和高空間分辨的XPS成 像的需求。
空間連續(xù)的電阻陽極探測(cè)器創(chuàng)新技術(shù)，使得XPI成像分辨率達(dá)1um，同時(shí)所得數(shù)據(jù)無探測(cè)器背底特 征，無需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像結(jié)果。
●微聚焦單色源
分析尺寸在20μm～900μm之間連續(xù)可調(diào)
靈敏度和能量分辨率
提供不少于20個(gè)靶材工作點(diǎn)，確保儀器終身使用過程中陽極靶無需更換
●自動(dòng)化高效離子剖析源
新型Ar離子團(tuán)簇與傳統(tǒng)單粒子離子源相結(jié)合，用于各類材料的深度剖析研究
●高精確度角分辨XPS
軟件控制分析位置和角度，確保數(shù)據(jù)的精確性和重復(fù)性
全套的ARXPS數(shù)據(jù)處理工具，可對(duì)納米尺度的多層結(jié)構(gòu)器件進(jìn)行層厚計(jì)算
●一鍵式荷電補(bǔ)償
配有雙束電荷中和系統(tǒng)，可以根據(jù)實(shí)際樣品的需要獨(dú)立控制開啟。
適用于所有不導(dǎo)電樣品及粗糙表面的精準(zhǔn)荷電中和
●強(qiáng)大的Avantage分析軟件
全數(shù)字化儀器控制
系統(tǒng)軟件可視化操作
全套XPS標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)圖庫以及化合物結(jié)構(gòu)鑒定數(shù)據(jù)庫
自定義數(shù)據(jù)采集到報(bào)告生成模式
操作簡(jiǎn)便
●高度自動(dòng)化
分析區(qū)域和角度分辨可選
自動(dòng)化氣體調(diào)節(jié)和真空控制
●隨時(shí)校準(zhǔn)
能量標(biāo)尺和儀器功函數(shù)的校準(zhǔn)
離子槍定位和離子束聚焦
●鼠標(biāo)點(diǎn)擊式樣品導(dǎo)航
實(shí)時(shí)顯示分析位置
高照明強(qiáng)度、強(qiáng)度可調(diào)
設(shè)計(jì)靈活
●ISS、ARXPS與REELS為標(biāo)準(zhǔn)配置
●多功能進(jìn)樣室為標(biāo)準(zhǔn)配置
●UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可選
●可選的樣品預(yù)處理附件，包括：
樣品制備臺(tái)、晶體清潔器、樣品刮片器
樣品加熱/冷卻裝置
濺射清潔離子槍
蒸發(fā)器
高壓反應(yīng)室
