產(chǎn)品簡(jiǎn)介:TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀是一款利用反射光譜測(cè)試薄膜厚度的儀器,可快速精確地測(cè)量透明或半透明薄膜的厚度而不損傷樣品表面的薄膜,是一款無(wú)損測(cè)厚儀,其測(cè)量膜厚范圍為15nm-50um,測(cè)量膜厚范圍廣,尤其適用于超薄薄膜厚度的測(cè)量。儀器所發(fā)出測(cè)試光的波長(zhǎng)范圍為400nm-1100nm,波長(zhǎng)范圍廣,因此,測(cè)試薄膜厚度的范圍廣。TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀測(cè)試系統(tǒng)的理論基礎(chǔ)為鏡面光纖反射探頭,該儀器尺寸小巧可節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間,操作方便,讀數(shù)直觀(guān),方便于在實(shí)驗(yàn)室中擺放和使用。
產(chǎn)品名稱(chēng) | TFMS-LD反射光譜薄膜測(cè)厚儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | TFMS-LD |
測(cè)量膜厚范圍 | 15nm-50um |
光譜波長(zhǎng) | 400 nm - 1100 nm |
主要測(cè)量透明或半透明薄膜厚度 | 氧化物 氮化物 光刻膠 半導(dǎo)體(硅,單晶硅,多晶硅等) 半導(dǎo)體化合物(ALGaAs,InGaAs,CdTe,CIGS等) 硬涂層(碳化硅,類(lèi)金剛石炭) 聚合物涂層(聚對(duì)二甲苯,聚甲基丙烯酸甲酯,聚酰胺) 金屬膜
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特點(diǎn) | 測(cè)量和數(shù)據(jù)分析同時(shí)進(jìn)行,可測(cè)量單層膜,多層膜,無(wú)基底和非均勻膜 包含了500多種材料的光學(xué)常數(shù),新材料參數(shù)也可很容易地添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等 體積較小,方便擺放和操作 可測(cè)量薄膜厚度,材料光學(xué)常數(shù)和表面粗糙度 使用電腦操作,界面中點(diǎn)擊,即可進(jìn)行測(cè)量和分析 |
精度 | 0.01nm或0.01% |
準(zhǔn)確度 | 0.2%或1nm |
穩(wěn)定性 | 0.02nm或0.02% |
光斑尺寸 | 標(biāo)準(zhǔn)3mm,可以小至3um |
要求樣品大小 | 大于1mm |
分光儀/檢測(cè)器 | 400 - 1100 nm 波長(zhǎng)范圍 光譜分辨率: < 1 nm 電源 100 -250 VAC, 50/60 Hz 20W
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光源 | 5W的鎢鹵素?zé)?/span> 色溫:2800K 使用壽命:1000小時(shí) |
反射探針 | 光學(xué)纖維探針,400um纖維芯 配有分光儀和光源支架 |
載樣臺(tái) | 測(cè)量時(shí)用于放置測(cè)量的樣品
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通訊接口 | USB接口,方便與電腦對(duì)接 |
TFCompanion軟件 | 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)庫(kù)包含兩500多種材料的光學(xué)常數(shù)(n:折射率,K:消失系數(shù))
誤差分析和模擬系統(tǒng),保證在不同環(huán)境下對(duì)樣品測(cè)量的準(zhǔn)確性 可分析簡(jiǎn)單和復(fù)雜的膜系
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設(shè)備尺寸 | 200x250x100mm |
重量 | 4.5kg |